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1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：年产名万片12英寸芯片生产线项目建设单位（盖章）：杭州士兰集昕微电子有限公司编制日期:2022年8月中华人民共和国生态环境部制一、建设项目基本情况1二、建设项目工程分析14三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准72四、主要环境影响和保护措施85五、环境保护措施监督检查清单105六、结论107专题一：大气108专题二：环境风险141附表173、建设项目基本情况建设项目名称年产36万片12英寸芯片生产线项目项目代码2204-330114-89-02-524827建设单位联系人朱先生联系方式建设地点浙江省杭州市钱塘区白杨街道19号大街656号（M6
2、J93）地块地理坐标120度21分44.718秒,30度18分3.285秒国民经济行业类别C3973集成电路制造建设项目行业类别80电子器件制造397建设性质口新建（迁建）口改建El扩建口技术改造建设项目申报情形El首次申报项目口不予批准后再次申报项目口超五年重新审核项目口重大变动重新报批项目项目审批（批准/备案）部门（选填）钱塘区杭州钱塘区行政审批局项目审批（批准/备案）文号（选填）/总投资（万元）390000环保投资（万元）3150环保投资占比（）0.81施工工期30个月是否开工建设GI否用地（用海）面积（m2）0专项评价设置情况本项目专项评价设置情况详见表I-L表7项目专项评价设置情况一
3、览表专项评价的类别设置原则对照分析是否设置大气排放废气含有毒有害污染物、二嗯英、苯并花、甄化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标的建设项目本项目排放氯气且厂界外最近距离约85m处有居住区天元公寓。是地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂本项目废水经预处理达标后纳管排放。否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的建设项目本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量。是生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和涧游通道的新增河道取水的污染类建设项目本项目所在地取水口下游50Om范围无内重要
4、水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场等生态保护目标。否海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目本项目不涉及直接向海洋排放污染物。否由上表可知，本项目需设置大气及环境风险2个专项评价章节。规划情况杭州大创小镇综合发展规划由浙江南方建筑设计有限公司编制，2018年8月10日浙江省特色小镇规划建设工作联席会议办公室以浙特镇办201819号文件公布了浙江省省级特色小镇第四批创建名单，杭州大创小镇作为大学城、大学生、大众创业首选地进入第四批创建名单。规划环境影响评价情况文件名称：杭州大创小镇综合发展规划环境影响报告书召集审查机关：杭州市生态环境局审查文件名称及文号：关于抄告杭州大创小镇综合发展规划环境影
5、响报告书审查会审查小组意见和关于杭州大创小镇综合发展规划环境影响报告书的复核报告的函（杭环函2019308号）规划及规划环境影响评价符合性分析I、杭州大创小镇综合发展规划符合性分析（1）规划范围及面积杭州大创小镇位于杭州钱塘区下沙区块，规划区红线东至25号大街，南至10号大街、西至9号大街，北至2号大街；规划总用地面积3.8km2。（2）规划期限2018-2025年，评价基准年为2018年。（3）规划结构规划形成“一核一街、三区三带”的总体布局。其中一核指核心创业街（由2号、23号、6号、15号大街围合而成）；一街指拇指路（科技园）创业大街；三区分别为西部拓展区、南部拓展区和东部教育生活配套区
6、；三带分别指高教园区双创带（14所高校）、钱塘江围垦文化带和南部转型升级带。（4）产业发展规划杭州大创小镇作为全国双创示范区，以数字经济（信息技术产业）为主导，重点发展集成电路、新型显示、柔性制造、智能应用产业及研发创新产业。（5）符合性分析根据杭州大创小镇用地规划图，本项目位于大创小镇产业规划布局中的“集成电路产业区”，用地性质为工业用地。本项目主要内容集成电路芯片生产，符合杭州大创小镇的总体发展规划。2、杭州大创小镇综合发展规划环境影响报告书符合性分析根据杭州大创小镇综合发展规划环境影响报告书，规划环评主要成果如下：（1）规划环评总结论本次规划实施后，规划定位与城市总体规划、土地利用规划、
7、环境功能区划等上位规划的定位要求基本一致，规划目标与当前环保要求相符，发展定位符合大环境背景要求，但局部布局需进一步优化。在规划层面上土地资源、水资源和能源能够得到保障，环保基础设施己配套建设；大气环境容量存在短板，规划实施后污染物总量可以实现减排，规划实施有助于改善区域环境质量。报告认为，规划方案在目标定位、产业结构和规模等方面较为合理，在进一步优化规划实施和局部用地布局、完善基础设施建设、健全环境管理体系、严格落实资源保护和环境影响减缓对策措施后，从资源环境保护而言是可行的，也有利于促进区域经济、社会的协调、可持续发展。（2）管控要求本项目位于钱塘区白杨街道19号大街656号（M&19-3
8、）地块，根据杭州大创小镇综合发展规划环境影响报告书，项目所在区块生态空间管控要求详见表1-2、环境准入要求详见表1-3。规划及规 划环境影 响评价符 合性分析表12项目所在区块生态空间管控要求类别所含空间 单元面积现状用 地类型所在环境功 能区划小区生 产 空 间工业区127.9万m2工业 为主下沙南部产 业发展环境 优化准入区规划图管控要求1、禁止新建、扩建三类工业项目，鼓励对工 类工业项目进行淘汰和提升改造：2、新建二类工业项目污染物排放水平需达到 同行业国内先进水平；3、禁止新建、技改项目设置挥发性有机物工 段（排放量大于0.5ta）和表面有机涂层工段： 4、禁止新建入河排污口，现有的入
9、河排污口 应限期纳管：5、合理规划生活区与工业区，在居住区和工 业园、工业企业之间设置隔离带。表1.3项目所在区块环境准入条件清单所属区域类型产业领域项目类别分类行业清单工艺清单产品清单制定依据下沙南部环境优化准入区主导产业1、信息技术（集成电路、人工智能、物联网）；2、新型显示：3、柔性制造及智能应用：计算机、通信和其他电子设备制造业禁止准入类涉及化学反应电子专用材料合成产业涉及电镀、化学镀工艺；涉及有机涂层（喷塑除外）、电路板印刷万元产值耗能、水量高于杭州市上年度平均指标的项目及产品杭州市区（六城区）环境功能区划、杭州市产业发展导向目录与产业平台布局（2019）协同发展产业研发创新服务研究
10、和试验发展禁止准入类涉及化工类中试内容的/其他产业非主导行业/禁止非主导产业新建：现有非主导产业在污染物总量不增加前提下技改。/（3）符合性分析根据杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案（2020.9）,本项目属于江干区下沙南部、下沙园区北部产业集聚重点管控单元（编号ZH33010420002）。本项目主要生产内容为集成电路芯片，属于电子器件制造行业，为二类工业项目。根据环境准入条件清单表对照，本项目属于其主导产业，不属于环境准入条件清单中禁止准入类和限制准入类产业；项目属于C3973集成电路制造，不属于电子专用材料合成产业，不属于禁止准入行业。同时本项目生产工艺不涉及电镀、化学镀、有机涂层，
11、不属于其禁止类工艺清单。项目实施后，项目废水经厂区污水处理设施预处理后纳入杭州市七格污水处理厂处理达标后排放；酸性废气经碱液喷淋吸收塔处理后高空排放；碱性废气经酸液喷淋吸收塔处理后高空排放；有机废气收集后经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空排放。生活垃圾经集中收集后委托当地环卫部门清运；危险固废暂存危废仓库委托有资质的单位处理；一般固废出售综合利用；厂区内进行构筑物隔声、基础减震。项目“三废”经采取适当的污染防治措施后能够达到规划环评中提出的相应污染物排放标准要求。综上所述，本项目的建设符合杭州大创小镇综合发展规划环境影响报告书的相关要求。1、杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案符合性判定其他符
12、合根据杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案（2020.9）,本项目属于江干区下沙南部、下沙园区北部产业集聚重点管控单元（编性分析号ZH33O1Q42OOO2）。项目与管控单元生态环境准入清单符合性分析见表14。表IT管控单元生态环境准入清单符合性一览表管控要求符合性分析空间布局引导根据产业集聚区块的功能定位，建立分区差别化的产业准入条件。合理规划居住区与工业功能区，在居住区和工业区、工业企业之间设置防护绿地、生活绿地等隔离带。本项目位于杭州市钱塘区19号大街656号（M6l*3）地块，属于大创小镇产业规划布局中的“集成电路产业区”，用地性质为工业用地，厂区与周边企业、居住区之间均设有防护绿地
13、。符合空间布局要求。污染物排放管控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，削减污染物排放总量。所有企业实现雨污分流。企业已完成雨污分流，已申领排污许可证并已进行总量交易。本项目实施后，严格落实污染物总量控制制度。符合污染物排放管控.环境风险防控强化工业集聚区企业环境风险防范设施设备建设和正常运行监管，加强重点环境风险管控企业应急预案制定，建立常态化的企业隐患排查整治监管机制，加强风险防控体系建设。现有企业已经建立企业隐患排查整治监管机制：本项目实施后，要求企业重视环境风险防控，及时更新企业应急预案。符合环境风险防控.资源开发效率要求/综上所述，项目的建设符合杭州市“三线一单”生态
14、环境分区管控方案中的相关要求。2、浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析本项目与浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析详见下表。表15浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案符合性分析内容符合性分析结论优化产业结构。引导石化、化工、工业涂装、包装印刷、合成革、化纤、纺织印染等重点行业合理布局，限制高VOCs排放化工类建设项目，禁止建设生产和使用VOCs含量限值不符合国家标准的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。贯彻落实产业结构调整指导目录国家鼓励的有毒有害原料（产品）替代品目录，依法依规淘汰涉VOCs排放工艺和装备，加大引导退出限制类工艺和装备力度，从源头减少涉VOCs污
15、染物产生。项目不涉及使用VOCS含量限值不符合国家标准的涂料、油果、胶粘剂、清洗剂。根据产业结构调整指导目录等文件，项目不涉及产业禁止或限制的工艺和装备，符合产业政策要求。符合严格环境准入。严格执行“三线一单”为核心的生态环境分区管控体系，制（修）订纺织印染（数码喷EQ等行业绿色准入指导意见。严格执行建设项目新增VOCs排放量区域削减替代规定，削减措施原则上应优先来源于纳入排污许可管理的排污单位采取的治理措施，并与建设项目位于同一设区市。上一年度环境空气质量达标的区域，对石化等行业的建设项目VoCS排放量实行等量削减；上一年度环境空气质量不达标的区域，对石化等行业的建设项目VOCs排放量实行2
16、倍量削减，直至达标后的下一年再恢项目所在地属于江干区下沙南部、下沙园区北部产业集聚重点管控单元（ZH33010420002）,符合杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案中的相关要求。本项目为集成电路制造项目，新增VOCS符合复等量削减。按1:2的比例削减替代。全面提升生产工艺绿色化水平。石化、化工等行业应采用原辅材料利用率高、废弃物产生量少的生产工艺，提升生产装备水平，采用密闭化、连续化、自动化、管道化等生产技术，鼓励工艺装置采取重力流布置，推广采用油品在线调和技术、密闭式循环水冷却系统等。工业涂装行业重点推进使用紧凑式涂装工艺，推广采用辐涂、静电喷涂、高压无气喷涂、空气辅助无气喷涂、热喷涂、
17、超临界二氧化碳喷涂等技术，鼓励企业采用自动化、智能化喷涂设备替代人工喷涂，减少使用空气喷涂技术。包装印刷行业推广使用无溶剂复合、共挤出复合技术，鼓励采用水性凹印、醇水凹印、辐射固化凹印、柔版印刷、无水胶印等印刷工艺。鼓励生产工艺装备落后、在既有基础上整改困难的企业推倒重建，从车间布局、工艺装备等方面全面提升治理水平。本项目为集成电路制造项目，不属于石化、化工等行业，不涉及工业涂装。项目有机废气经过沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空排放,可以做到达标排放。符合全面推行工业涂装企业使用低VOCS含量原辅材料。严格执行中华人民共和国大气污染防治法第四十六条规定，选用粉末涂料、水性涂料、无溶剂涂料、辐射固
18、化涂料等环境友好型涂料和符合要求的（高固体分）溶剂型涂料。工业涂装企业所使用的水性涂料、溶剂型涂料、无溶剂涂料、辐射固化涂料应符合低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求规定的VOCS含量限值要求，并建立台账，记录原辅材料的使用量、废弃量、去向以及VoCS含量。本项目为集成电路制造项目，不涉及工业涂装工序。符合大力推进低VoCS含量原辅材料的源头替代。全面排查使用溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等原辅材料的企业，各地应结合本地产业特点和本方案指导目录（见附件D,制定低VOCs含量原辅材料源头替代实施计划，明确分行业源头替代时间表，按照“可替尽替、应代尽代”的原则，实施一批替代溶剂型原辅材料的
19、项目。加快低VOCS含量原辅材料研发、生产和应用，在更多技术成熟领域逐渐推广使用低VOCs含量原辅材料，到2025年，溶剂型工业涂料、油墨、胶枯剂等使用量下降比例达到国家要求。本项目为集成电路制造项目，不涉及溶剂型工业涂料、油墨、胶粘剂。项目清洗、光刻等工序涉及有机溶剂，工艺、原材料和废气处理设施均为行业内先进。符合严格控制无组织排放。在保证安全前提下，加强含VoCS物料全方位、全链条、全环节密闭管理，做好VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节的管理。生产应优先采用密闭设备、在密闭空间中操作或采用全密闭集气罩收集方式，原则上应保持微负压状态，
20、并根据相关规范合理设置通风量：采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的VOcS无组织排放位置控制风速应不低于0.3米/秒。对VOCS物料储罐和污水集输、储存、处理设施开展排查，督促企业按要求开展专项治理。本项目生产车间均为洁净车间，化学品容器仅在开启时有少量无组织废气产生，通过供应间排风系统接至相应的废气排气筒后有组织排放，可消除生产车间的无组织排放情况。符合全面开展泄漏检测与修复（LDAR）.不涉及符合规范企业非正常工况排放管理。引导石化、化工等企业合理安排停检修计划，制定开停工（车）、检修、设备清洗等非正常工况的环境管理制度。在确保安全的前提下，尽可能不在03污染高发时段（4月下旬-6月上
21、旬和8月下旬一9月，下同）安排全厂开停车、装置整体停工检修和储罐清洗作业等，减少非正常工况VOCs排放；确实不能调整的，应加强清洗、退料、吹扫、放空、晾干等环节的VOCs无组织排放控制，产生的VOCS应收集处理，确保满足安全生产和污染排放控制要求。不涉及符合建设适宜高效的治理设施。企业新建治理设施或对现有治理设施实施改造，应结合排放VOCs产生特征、生产工况等合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多种技术的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，吸附装置和活性炭应符合相关技术要求，并按要求足量添加、定期更换活性炭。组织开展使用光催化、光氧化、低温等离子、一次性活性炭或上述组
22、合技术等VOCs治理设施排查，对达不到要求的，应当更换或升级改造，实现稳定达标排放。到2025年，完成5000家低效VOCs治理设施改造升级，石化行业的VOCS综合去除效率达到70%以上，化工、工业涂装、包装印刷、合成革等行业的VoCS综合去除效率达到60%以上。项目有机废气经过沸石浓缩转轮焚烧系统处理后高空排放，综合去除效率可以达到90%,确保废气达标排放。符合加强治理设施运行管理。按照治理设施较生产设备“先启后停”的原则提升治理设施投运率。根据处理工艺要求，在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留VOCs收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs治理设施发生故障或
23、检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用：因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。要求企业在后续生产过程中加强治理设施运行管理，在在治理设施达到正常运行条件后方可启动生产设备，在生产设备停止、残留VoCS收集处理完毕后，方可停运治理设施。VOCs治理设施发生故障或检修时，对应生产设备应停止运行，待检修完毕后投入使用；因安全等因素生产设备不能停止或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。符合规范应急旁路排放管理。推动取消石化、化工、工业涂装、包装印刷、纺织印染等行业非必要的含VOCs排放的旁路。因安全等因素确须
24、保留的，企业应将保留的应急旁路报当地生态环境部门。应急旁路在非紧急情况下保持关闭，并通过铅封、安装监控（如流量、温度、压差、阀门开度、视频等）设施等加强监管，开启后应做好台账记录并及时向当地生态环境部门报告。本项目不设相关含VOCs排放的旁路。符合由上表可知，本项目的建设符合浙江省“十四五”挥发性有机物综合治理方案中的相关内容。3、产业政策符合性分析本项目属于C3973集成电路制造，对照产业结构调整指导目录（2019年本），属于指导目录中“第一类：鼓励类，二十八、信息产业：22、新型电子元器件”。对照市场准入负面清单（2022年版），项目不在市场准入负面清单内。对照杭州市产业发展导向目录与产业
25、平台布局指引（2019年本），本项目属于“鼓励类”中的“B52移动智能终端芯片、数字电视芯片、网络通信芯片、可穿戴设备芯片、数字集群（PDT）.数字对讲机、数字电视机顶盒等芯片及操作系统的设计、研发和制造”。对照钱塘区产业发展导向目录与产业平台布局指引（钱政办发20226号），本项目属于“鼓励类目录”中的“B0139英寸半导体硅片、12英寸半导体硅片等；8英寸及以下特色工艺生产线、虚拟IDM生产线、12英寸数字芯片生产线”。此外，项目已获得区行政审批局出具的浙江省企业投资项目备案（赋码）信息表（项目代码：2204S30114-89-02-524827）。因此，本项目的建设符合国家和地方产业政策
26、要求。4、“三线一单”符合性分析（1）生态保护红线其他符合性分析本项目位于杭州市钱塘区19号大街656号（M6-19-3）地块，评价范围内不涉及杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案和浙江省人民政府关于发布浙江省生态保护红线的通知（浙政发201830号）等相关文件划定的生态保护红线范围。项目的建设不触及生态保护红线。（2）环境质量底线根据现状监测及环境公报，项目拟建地声环境能满足相应功能区要求，地表水环境能稳定达到地表水环境质量标准（GB3838-2002）In类标准，但由于杭州市区2021年臭氧日最大8小时平均浓度第90百分位数存在超标现象，区域环境空气为不达标。为改善区域环境空气质量，杭州
27、市先后出台了杭州市大气环境质量限期达标规划、杭州市空气质量改善“十四五”规划等文件，“十四五”时期，杭州市持续深化“五气共治”，实现全市大气主要污染物排放总量持续减少目标，环境空气质量进一步改善，环境空气质量将会逐步好转并实现达标。项目实施后，废气经治理后能够实现达标排放；废水经厂区配套污水处理站预处理后纳管排入杭州七格污水处理厂集中处理达标后排放，对附近水体无影响，能维持区块水环境质量现状；生产设备噪声经过减振降噪等措施后可实现达标排放；固体废物均有合理出路；企业落实好地下水源头控制和防渗措施后，项目不会对厂区周边地下水、土壤环境产生不利影响。因此，项目的建设可确保不突破环境质量底线要求。（
28、3）资源利用上线项目不属于高耗能、高污染、资源型企业，用水来自工业区供水管网，用电来自市政供电。项目利用现有厂房，无需新增用地；建成运行后通过内部管理、设备选择、自动化控制、原辅材料的选用和管理、废物回收利用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施，以“节约、降耗、减污”为目标，实现节能减排。因此，项目的实施不会突破该区域的资源利用上线。（4）环境准入负面清单对照杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案，项目不在环境准入负面清单中，符合生态空间管制清单中有关管控措施要求，不属于生态空间管制清单中的负面清单。综上所述，项目符合“三线一单”相关要求。5、V长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年
29、版）浙江省实施细则符合性分析本项目选址于杭州市钱塘区19号大街656号（Md19-3）地块，属于大创小镇产业规划布局中的“集成电路产业区”，利用现有已建厂房实施本项目。项目主要进行12英寸集成电路芯片的生产，项目属于C3973集成电路制造，不属于细则中所列禁止及落后产能、严重过剩产能、高耗能的建设项目；且项目符合产业结构调整指导目录（2019年本）（修正）、杭州市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019年本）、钱塘区产业发展导向目录与产业平台布局指引等相关产业政策要求。因此，本项目的建设符合长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）浙江省实施细则相关要求。6、产品排水量相关符合性分析
30、对照电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表2的规定，新建项目应执行单位产品基准排水量要求，具体要求如下表。表16单位产品基准排水量要求适用企业产品规格单位单位产品基准排水量排水量计量位置半导体12英掩膜层数35层及以下11与污染物排放器件寸芯片掩膜层数35层以上nW片20监控位置一致本项目产品规格为12英寸芯片，平均掩膜层数为10层，项目建成后年排水量为11978011,项目芯片产能为36万片/年，折合单位产品排水量为3.32711W片，小于电子工业水污染物排放标准（GB39731-2020）中表2要求（IlmW）。因此，本项目单位产品排水量符合电子工业水污染物排放标准（GB
31、39731-2020）。7、“四性五不批”符合性分析根据建设项目环境保护管理条例（国务院令第682号），木项目“四性五不批”符合性分析见下表。表1-7建设项目环境保护管理条例重点要求（四性五不批）符合性分析建设项目环境保护管理条例项目情况是否符介四性建设项目的环境可行性项目符合产业政策、达标排放、选址规划、环境规划、总量控制原则及环境质量要求等，从环保角度看，本项目在所选场地上实施是可行的。符合环境影响分析预测评估的可靠性根据建设项目环境影响报告表编制技术指南的技术要求进行评价，项目噪声、废气、废水对环境的影响是可接受的。符合环境保护措施的有效性项目采用可行技术进行处理，项目只要切实落实各项目
32、污染防治措施，各类污染物均可得到有效控制并能做到达标排放或者不对外排放，其环境保护措施可塾合理。符合环境影响评价结论的科学性本环评结论客观、过程公开、评价公正，并综合考虑建设项目实施后对各种环境因素可能造成的影响，环评结论是科学的。符合h不批建设项目类型及其选址、布局、规模等不符合环境保护法律法规和相关法定规划。项目选址符合杭州大创小镇综合发展规划、杭州市“三线一单”生态环境分区管控方案，建设内容符合国家及地方产业政策：项目运营过程中各类污染物均能得到有效控制，并做到达标排放，符合总量控制和达标排放原则，不会对环境造成不良影响。符合所在区域环境质量未达到国家或者地方环境质量标准，且建设项目拟采
33、取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求。项目所在区域声环境质量和地表水环境质量均达标，大气环境质量现状中臭氧浓度略有超标，随着杭州市大气环境质量限期达标规划、杭州市空气质量改善“十四五”规划等的持续推进，杭州市的环境空气质量将会逐步好转，同时本项目废气中不含影响臭氧浓度的污染因子，且项目废气、废水、噪声经处理后均不会改变所在环境功能区的质量，项目实施不会改变所在地的环境质量水平和环境功能。符合建设项目采取的污染防治措施无法确保污染物排放达到国家和地方排放标准，或者未采取必要措施预防和控制生态破坏。项目采用可行技术进行处理，只要切实落实各项污染防治措施，各类污染物均可得到有效控制并能做到达
34、标排放或者不对外排放，其环境保护措施可靠合理。符合改建、扩建和技术改造项目，未针对项目原有环境污染和生态破坏提出有效防治措施。本项目属于扩建项目，环评中对企业原有项目的环境管理措施等提出了进一步要求符合建设项目的环境影响报告书、环境影响报告表的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺陷、本评价基础资料数据具有真实性，内容不存在重大缺陷、遗漏，环境影响评价结论明确、合理。符合遗漏，或者环境影响评价结论不明确、不合理。8、清洁生产水平分析本项目生产工艺要求高，生产环境要求高，主要生产设备先进，在现阶段基本上属于清洁生产工艺。但是清洁生产是一个持续不断的过程，企业必须加强清洁生产的实施。本环评的清洁生产
35、评价指标分为：生产工艺与装备要求、资源能源利用、产品指标、能耗指标和环境管理要求。(1)生产工艺与设备要求生产工艺先进性士兰集昕已经建立了多门类、宽领域、有特色的功率半导体产品和技术研发平台，掌握了高压集成电路芯片、功率分立器件芯片和MEMS传感器芯片领域中多项核心技术，并已在硅基高压BCD工艺技术、HVVDMoS工艺技术、IGBT工艺技术、惯性传感器-MEMS陀螺仪等核心技术方面实现了产品的批量产出。企业具有全国领先的半导体芯片制造工艺水平，依托于自有芯片生产线，在国内电力电子和特色工艺领域确立了独特的竞争优势。公司成功开发和引进了SIPEX公司2u双极工艺和CMOS/BICMOS工艺技术。
36、开发“BCD工艺技术创新”项目，该项目是杭州市科技发展计划项目，开发出1微米的BCD工艺技术平台，电压覆盖了25V到650V,是国内能够量产的最高工艺技术水平。开发60V800V的高低压VDMoS产品，该项目是信息产业部电子信息产业发展基金管理办公室VDMOS工艺技术开发及产业化”项目，主要针对电源、显示屏、电力电子、汽车等市场。目前公司已达到0.60.8微米的工艺技术，主要针对能源管理、照明、家电、计算机、通讯类产品，较同行业的08L2微米的工艺水平，尚属领先水平。设备先进性a、有机废气治理系统本项目有机废气采用沸石转轮焚烧处理工艺，相比活性炭吸附系统更加提高有机废气的治理效果。同时，采用沸
37、石转轮焚烧处理工艺可以节约运行能耗、减少末端治理设备的规格，大大降低了设备投入成本及后期运行成本。该方案的实施可稳定有机废气的治理效果，同时在处理过程中可减少废活性炭等危险固废的产生和处理，具有显著的环境效益。b、空压机本工程使用水冷离心式空压机和变频螺杆式空压机用于设备气动以及吹扫等，公司空压机经对比分析输入比功率优于容积式空气压缩机能效限定值及能效等级(GBTl9153-2009)能效等级I级的要求，属于节能型设备。c、冷水机组本项目使用冷水机组用于设备冷却和车间恒温，公司制冷机组配备水冷却装置，经对比分析公司使用的冷冻机能效比均符合冷水机组能效限定值及能源效率等级（GB19577-200
38、4）水冷式制冷机CC50kW性能系数不小于2.40的规定。d、照明灯本工程车间使用LED照明灯，属于节能灯，有利于减少照明节约的耗电量。e电力变压器本项目电力变压器拟选用节能型SClO系列，其设计效率符合三相配电变压器能效限定值及节能评价值（GB20052-2006）的要求也符合电力部门推荐的节能产品。（2）产品指标对照产业结构调整指导目录（2019年本），本项目属于指导目录中“第一类：鼓励类，二十八、信息产业：22、新型电子元器件”。对照杭州市产业发展导向目录与产业平台布局指引（2019年本），本项目属于“鼓励类”中的“B52移动智能终端芯片、数字电视芯片、网络通信芯片、可穿戴设备芯片、数字
39、集群（PDT）.数字对讲机、数字电视机顶盒等芯片及操作系统的设计、研发和制造”。本项目产品指标水平属于国内先进水平。能耗指标本项目能耗指标见表1-8。表18项目能耗指标一览表序号名称年消耗量单位折标煤系数折标煤量（吨）1电9024万度1.229吨标煤7万kWh（当量）1.113.82吨标煤7万kWh（等价）3.452水171.6万吨2.571吨标煤/万吨441.23蒸汽900()GJ0.0341吨标煤/GJ306.9合计综合能耗（当量）/749.21本项目达产后，工业总产值可达162000万元/年，工业增加值20000万元/年。项目万元工业增加综合能耗（当量）为0.037吨标煤/万元，远远低于
40、2021年全省及杭州市的平均水平。清洁生产的环境管理要求。a、强化清洁生产的管理，包括完善生产工艺和生产过程的控制能力，优化操作，尽量减少“三废”的产生；b、建立和健全相应的规章制度及奖惩原则，提高员工的环境保护意识；c、生产过程环境管理。所有岗位进行严格培训，有完善的岗位操作规程，运行无故隙，设备完好率能达到98%；主要设备有完好的管理制度并严格执行；主要环节进行计量并进行定量考核制度；生产区内各种标识明显，严格定期检查。（2）清洁生产措施建议本项目进一步采取以下清洁生产措施：12由于芯片生产对水质的特殊要求，水的进一步回用在目前实现起来有一定困难时，企业已经将其用于某些对水质要求较低的地方
41、，建立中水回用系统，进一步提高这部分水的利用率。如将部分RO浓缩水除用于废气洗涤塔和冷却塔补充水、绿化用水外，也用于卫生间冲洗水等。控制工艺参数，对烘干的工艺参数温度、时间等严格要求控制，避免温度过高或过低导致产品损耗。建立设备维护保养制度，定期对设备维护保养，保证生产设备的正常运行。编制生产工艺单和作业指导书，生产过程的控制需按照生产计划有序进行，按原材料、产品质量标准实施检验，对产品质量实施有效的控制。加强清洁生产的宣传教育，制定培训计划。由于清洁不是绝对的，建议公司在今后的发展过程中，按照质量管理体系(IS09002/QS-9000/IS014001)的要求，持续采取世界先进的清洁生产工
42、艺，切实贯彻落实各项清洁生产措施，保障清洁生产的推行，不断进步。二、建设项目工程分析2.1 建设内容2.1.1 项目由来及环评类别判定杭州士兰集昕微电子有限公司（简称士兰集昕）由杭州士兰微电子股份有限公司、杭州士兰集成电路有限公司、国家集成电路产业投资基金股份有限公司和杭州高新科技创业服务有限公司共同投资建设的集成电路芯片制造企业。公司成立于2015年11月，位于杭州市钱塘区19号大街656号，厂区占地面积约80亩。士兰集昕现有一条8英寸集成电路芯片生产线（规模为年产8英寸硅片43.2万片），主要生产高压集成电路和电源管理集成电路芯片、功率半导体器件芯片、MEMS传感器芯片。基于集成电路行业的
43、高速发展和庞大的市场规模，士兰集昕从厂房利用、生产效率、能耗、排放、投资收益等方面综合考虑，拟利用现有闲置的5O（X）m2净化区域，通过购置具有国际先进水平的光刻机、干法刻蚀机、离子注入机、扩散炉、物理气相淀积设备、化学气相淀积设备等，在现有芯片生产规模的基础上，扩建一条年产36万片12英寸芯片生产线。该项目已由钱塘区杭州钱塘新区行政审批局（行政服务中心）进行备案（项目代码：2204-330114-89-02-524827）。建 设 内 容项目主要生产内容为12英寸芯片，对照国民经济行业分类（GB47542017）,本项目应属于“C3973集成电路制造”；对照建设项目环境影响评价分类管理名录（
44、2021年版），木项目应编制环境影响报告表，项目评价类别判定情况详见表2-1。表2/项目评价类别判定表项目类另报告书报告表登记表三十六、计算机、通信才用其他电子设备制造业3980电子器件制造397/显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的：有酸洗的；以上均不含仅分割、焊接、组装的/本项目需编制环境影响报告表，对照固定污染源排污许可分类管理名录（2019年版），本项目管理类别为重点管理。根据杭州市生态环境局关于印发杭州市产业园区“规划环评+项目环评”改革实施方案的通知（杭环发202253号），本项目不在降低环评等级范围内，仍需编制环境影响报告表。为了科学客观的评价项目建设过程中以及建成后对周围
45、环境造成的影响，杭州士兰集昕微电子有限公司委托我司（浙江省工业环保设计研究院有限公司）承担该项目的环境影响评价工作。接受委托后，我司通过资料收集、现场踏勘后，对项目建成后可能产生的环境问题进行了全面分析和预测，并提出了具有针对性和可操作性的污染防治对策和建议，在此基础上，编制了本项目环境影响报告表。2.1.2项目主要建设内容本项目利用土兰集昕现有土地和厂房，在已有的芯片产品研发平台和芯片生产线的基础上，引进具有国际先进水平的光刻机、刻蚀机、注入机等设备，购置配套国产动力设备设施，建设一条年产36万片12英寸功率芯片生产线。项目名称：年产36万片12英寸芯片生产线项目建设性质：扩建建设单位：杭州
46、士兰集昕微电子有限公司建设地点：杭州市钱塘区钱塘新区（下沙）19号大街656号（M6193）地块，土兰集昕现有芯片生产线厂房内投资投：390000万元项目主要建设内容详见表2-2o表22项目主要建设内容一览表类别工程内容备注主体工程12英寸芯片生产线位于现有8英寸芯片生产厂房内的预留区域（2F、空置区域5000m2）,通过引进具有国际先进水平的光刻机、刻蚀机、注入机等设备，购置配套国产动力设备设施，建设1条年产36万片12英寸芯片生产线。/辅助工程原料仓库企业建有I个345m2甲类化学品仓库、I个4265m?乙类化学品仓库，可满足扩建后原料暂存。目前甲类化学品仓库已使用60%区域，剩余40%可供本次扩建项目使用；乙类化学品仓库共4层，目前已启用IF、2F区域，剩余3F、4F可供本次扩建项目使用。本项目物料消耗约占现有项目使用量的80%,因此
