键合实用工艺全参数培训.doc

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1、word键合人员工艺参数培训根底篇软件版本9-28-2-32b一、键合过程控制参数1.1、1st Bond和2nd bond参数1.2、Loop 参数1.3、Ball 参数1.4、Bits 参数二、走带控制参数 2.1、W/H参数 2.2、ELEV参数图一一、键合过程参数 First Bond ParametersParameterDefault / Allowable RangeFunctionTip 1Default = 5 milsMin = 0 milMax = 25 mils劈刀从高速运行到芯片外表一段高度后会由高速变为低速,TIP就是这个高度。TIP OFFSET/TIP HEIG

2、HTCV 1Default = 0.5 mils/msMin = 0.2 mils/msMax = 3.0 mils/ms- 在TIPX围内的速度。-ParameterDefault / Allowable RangeFunctionUSG Mode 1Default = C. CurrentMin = C. PowerMax = C. Voltage- 超声模式- C.P:调整功率constant power改变超声- C.C: 调整功率constant current改变超声最优- C.V: 调整功率constant voltage改变超声-USG Power 1Default = 400

3、 mWMin = 0 mWMax = 4000 mWUSG Volts 1Default = 3500 mVMin = 0 mVMax = 16000 mVUSG Current 1Default = 80 mAMin = 0 mAMax = 250 mA通过调整电流值改变超声大小,建议使用。ParameterDefault / Allowable RangeFunctionUSG Bond Time 1Default = 7 msMin = 0 msMax = 3980 ms1ST压焊时间Force 1Default = 35 gramsMin = 0 gramsMax = 350 gram

4、s1ST 的压力ParameterDefault / Allowable RangeFunctionUSG Pre-Delay 1Default = 0 msMin = 0 msMax = 10 ms压力开始到超声开始的延时时间,主要针对压得不十分理想的。Lift USG RatioDefault = 0 %Min = 0 %Max = 100 %劈刀离开金球时的超声,这是一个比例值,有助于金球焊接的稳定和结实。本功能主要对fine pitch类20-40ParameterDefault / Allowable RangeFunctionUSG Pre-Bleed RatioDefault =

5、 0 %Min = 0 %Max = 100 %超声波前置输出比例,此超声在TIP高度X围内起作用Equalization FactorDefault = 100 %Min = 0 %Max = 200 %USG Profile 1Default = RampMin = RampMax = Burst超声输出模式共有三种1、 梯形波形Ramp up/down2、 方波Square3、 凸形BurstParameterDefault / Allowable RangeFunctionRamp Up Time 1Default = 10 %Min = 0 %Max = 75 %Ramp Down

6、Time 1Default = 0 %Min = 0 %Max = 25 %Burst Time 1Default = 1.5 msMin = 1.5 msMax = 3.0 msBurst Level 1Default = 125 %Min = 100 %Max = 200 %CONTACT DETECT MODE设定劈刀检测接触外表的方式VMode 是以Z轴的下降速度来检测的PMode是以Z轴下降的位置来检测的ParameterDefault / Allowable RangeFunctionContact Threshold 1Default = 70 %Min = 10 %Max =

7、90 %接触灵敏度,就是焊头下降过程中检测到芯片和框架的灵敏度,其实是一个比例值。Force Profiling 1Default = offMin = offMax = on第一点压力输出波形控制,是开关功能,打开后以下三项将会起作用Initial forceIniltial force timeForce ramp timeParameterDefault / Allowable RangeFunctionInitial Force 1Default = 65 grams Min = 0 grams Max = 350 grams 第一点压力应用前,在检测到劈刀碰到外表时就开始应用Init

8、ial Force Time 1Default = 33 %Min = 5 %Max = 100 % 第一点初始压力的作用时间,是比值单位,是以bond time为基准的比值Force Ramp Time 1Default = 10 %Min = 0 %Max = 100 %X ScrubDefault = 0 micronsMin = 0 micronsMax = 10 micronsTable的高频震动,正常的超声输出将在研磨完成后才输出,一般不建议使用Y ScrubDefault = 0 micronsMin = 0 micronsMax = 10 micronsScrub CycleD

9、efault = 2Min = 0 Max = 10ParameterDefault / Allowable RangeFunctionScrub PhaseDefault = 90 degMin = 0 degMax = 180 degLife ThrottleDefault = 100%Min = 1%Max = 100% 焊头脱离挤压金球开始往上升到第一个转折点ink height起动速度的大小。Seating USG安置超声波,在劈刀下降过程中的一个超声的能量输出,目的是协助金球落在劈刀中心,参考值为:50-100mA Second Bond ParametersParameterDe

10、fault / Allowable RangeFunctionTip 2Default = 2 milsMin = 0 milsMax = 25 mils CV 2Default = 1 mils/msMin = 0.2 mils/msMax = 3.0 mils/msParameterDefault / Allowable RangeFunctionUSG Mode 2Default = C. CurrentMin = C. PowerMax = C. VoltageUSG Power 2Default = 400 mWMin = 0 mWMax = 4000 mWUSG Volts 2De

11、fault = 7000 mVMin = 0 mVMax = 16000 mVParameterDefault / Allowable RangeFunctionUSG Current 2Default = 100 mAMin = 0 mAMax = 250 mAUSG Bond Time 2Default = 7 msMin = 0 msMax = 3980 msForce 2Default = 85 gramsMin = 0 gramsMax = 350 grams-ParameterDefault / Allowable RangeFunctionPower Equ PF (USG po

12、wer factor)Default = 100 %Min = 0 %Max = 200 %超声输出的X方向的平衡补偿Force Equ FF (bond force factor)Default = 100 %Min = 0 %Max = 200 %压力输出的X方向的平衡补偿Z-Tear StateDefault = OffMin = OffMax = OnZ-Tear USGDefault = 0 mAMin = 0 mAMax = 250 mA第二点扯线时的超声输出,Z-Tear SpeedDefault = 100 %Min = 40 %Max = 100 %扯线速度Parameter

13、Default / Allowable RangeFunctionCap OffsetDefault = 0 milsMin = -20 milsMax = 20 mils第二点的劈刀偏移量USG Profile 2Default = RampMin = RampMax = BurstRamp Up Time 2Default = 10 %Min = 0 %Max = 75 %Ramp Down Time 2Default = 0 %Min = 0 %Max = 25 %ParameterDefault / Allowable RangeFunctionBurst Time 2Default

14、= 1.5 msMin = 1.5 msMax = 3.0 msBurst Level 2Default = 125 %Min = 100 %Max = 200 %USG Pre-Delay 2Default = 0 msMin = 0 msMax = 10 msContact Threshold 2Default = 70 %Min = 10 %Max = 90 %Force Profiling 2Default = offMin = offMax = onInitial Force 2Default = 115 grams Min = 0 grams Max = 350 grams Ini

15、tial Force Time 2Default = 33 %Min = 5 %Max = 100 % Force Ramp Time 2Default = 10 %Min = 0 %Max = 100 %ParameterDefault / Allowable RangeFunctionTAIL MODE(OFF,Z-XY or XYZ)减弱第二点的鱼尾线撕裂,线弧飘或者发生,在其它参数调整最优之后的调整项会影响UPHOFF 正常只有z 轴上升的动作Z-XY 指z轴先上升到达线尾高度时xy轴再移动XYZ 指XYZ轴同时移动与上升XY DISTANCE(milS)指沿着线的方向扯线的移动距离,

16、正是往第一点方向靠近,负是远离第点方向SCRUB PHASE MODE研磨生物相位的模式,决定研磨的方向0(VAY) 使用设定相位来调整1CIRCLE 对所有的金线都呈现圆形化的研磨2IN LINE延线的方向研磨2nd scrub mode第二点研磨开始的时机With USG 研磨是与超声输出同时开始的Pre USG 研磨是在超声输出前已经开始2nd XY SCRUBmicron第二点是以微米为单位的平台研磨幅度2nd SCRUB CYCLES研磨的次数2nd SCRUB PHASE0 degrees与所有的线弧成垂直研磨90degrees对正交的垂直研磨,其它的圆形研磨180degrees对

17、正交的垂直研磨,其它的沿线的方向研磨TAIL XY SCRUB尾丝是以微米为单位的平台研磨幅度TAIL SCRUB PHASE0 与线的方向一致1 与线的方向正交垂直2 圆形的TAIL SCRUB CYCLES研磨次数TAIL SCRUB FREQUENCY(Hz)研磨频率TAIL SCRUB MODE(0 OR 1 )0 研磨并没有接触焊点外表Tail Scrub height定义高度1 研磨时接触焊点外表TAIL SCRUB OFFSET根据送线方向的一个补偿距离,新的位置是研磨的新坐标点TAIL SCRUB USG研磨时的次数输出量,以第二点的来计算TAIL SCRUB FORCE当研磨

18、与外表接触时,与研磨同时作用的压力的大小TAIL SCRUB HEIGHT非接触研磨时的的研磨高度 Looping ParametersParameterDefault / Allowable RangeFunctionKink HeightDefault = 8 milsMin = 0 milsMax = 100 mils Reverse MotionDefault = 8 milsMin = -10 milsMax = 150 mils-ParameterDefault / Allowable RangeFunctionRmot AngleDefault = 90 degMin = 0 d

19、egMax = 180 deg-Loop FactorDefault = -5 milsMin = -25 milsMax = 10 mils-ParameterDefault / Allowable RangeFunctionTOL CorrectionDefault = offMin = offMax = onLF3Default = 0 milsMin = 0 milsMax = 20 mils对帮助稳定线弧的稳定起到一定作用ParameterDefault / Allowable RangeFunctionFlat LengthDefault = 0 milsMin = 0 milsM

20、ax = 150 mils线弧的平台长度Shape FactorDefault = 0 degMin = 0 degMax = 90 deg 等同于1488中的thetaParameterDefault / Allowable RangeFunctionContact AngleDefault = 0 Min = 0 Max = 10- 接触角度- 主要控制劈刀头接近第二焊点的路径- 0表示到第二点的正上方垂直下降接触到第二点Contact OffsetDefault = 0 milsMin = 0 mils Max = 5 mils压在第二点的平移值,要慎重使用次参数LF4Default =

21、 100 %Min = 1 %Max = 100 %- 拉弧速度Bleed VoltageDefault = 1000 mVMin = 0 mVMax = 5000 mV- 当焊头在完成反向移动后的上升阶段的输出超声,目的是为了更好的保证金线从劈刀中穿过时的平稳。- 单位是电压,其实表现的效果是超声。ParameterDefault / Allowable RangeFunctionLoop Factor 2Default = 20Min = 0Max = 20-SmoothnessDefault = 25 %Min = 0 %Max = 100 %-ParameterDefault / Al

22、lowable RangeFunctionShape Factor 1Default = 0 degMin = -90 degMax = 90 deg-Span Length 1Default = 40 %Min = 0 %Max = 100 %Shape Factor 2Default = 15 deg Min = -90 degMax = 90 deg-Span Length 2Default = 0 %Min = 0 %Max = 100 %ParameterDefault / Allowable RangeFunctionLoop BalanceDefault = 100% Min =

23、 0 %Max = 200 %对同一组线弧中对弧高差异很大时,用小的参数可以改善弧度的一致参数越小对长短弧越趋于一致。Y Balance和X BalanceDefault = 100% Min = 80 %Max = 120 %X是指左右两侧Y是指上下两侧AUTO FLAT LENGTH根据线弧的不同角度来自动计算Flat Length的长度USE DIE EDGEAuto flat length的选控方式edge clearance或者angleDie edge clearance压焊点到芯片边角的距离Lateral motionJ wire 时的使用问题请各位描绘出如下15处各自代表的意义

24、?A Typical Wire Cycle Timing Waveform Ball Formation Parameters ParameterDefault / Allowable RangeFunctionWire Diameter线径Ball SizeDefault = 2.4 milsMin = 1.1 milsMax = 4.0 mils球径EFO CurrentDefault = 30 mAMin = 20 mAMax = 128 mA打火电流EFO GapDefault = 30 milsMin = 0 mil Max = 50 mils打火烧球的距离Tail Extensio

25、nDefault = 0 milMin = 0 milMax = 100 mils尾丝的长度,太长后容易引起金丝飘EFO FIRE STANDARD 焊线后烧球Before 焊线前烧球1.4 BITS ParametersParameterDefault / Allowable RangeFunctionBITS Default = ONMin = OFFMax = ON检测开关BITS PolarityDefault = 0 Min = 0 (positive)Max = 1 (negative)检测的电压的极性NSOP SensitivityDefault = 75 % Min = 0 %

26、 Max = 100 %第一点的检测灵敏度,SHTL SensitivityDefault = 25 % Min = 0 % Max = 100 %NSOL SensitivityDefault = 30 % Min = 0 % Max = 100 %ParameterDefault / Allowable RangeFunctionNSOP SAMPLING DELAY当劈刀到达TOL的高度准备进展开始NSOP检测动作前,准备取样前的延时时间NSOL SAMPLING DELAY当劈刀从线尾的高度开始进展扯线后,进展第二点检测前的延时时间TAIL CLOSE OFFSET当劈刀到达线尾的高度

27、准备进展SHIL的检测动作前的延时时间,这个参数是设定Z轴在到达线尾高度前关闭线夹的时间。假设这个参数维持0.5,如果线夹开口很小,那么还需要再调小些。NSOL DELTA在第二点检测前,轴高度较线尾高度多出的高度距离NSOPDELTA在第一点检测前,较TOL的高度所多出的下降距离,这个动作在NSOP sampling之前。NSOP SamplesDefault = 48Min = 1 Max = 255SHTL SamplesDefault = 20Min = 1 Max = 255 NSOL SamplesDefault = 12Min = 1 Max = 255 二、走带控制参数Para

28、meterDefault / Allowable RangeFunctionStandards Leadframe框架的类型,目前我们都是用规如此的标准类型Bondplane MoveupDefault = 0mils对与厚度很大的产品,参数的设定显示在焊头Z方向的一个移动,对于厚度在20mil以下的设定为零。Heat Block ThicknessDefault = 250mils标准的为250milsCl(Clamp) shoulder DepthDefault = 201mils标准的为201milsCl(Clamp) Extension Width夹具凸在前面的横向距离比拟典型的例子是

29、DIP8h的夹具ParameterFunctionIndex pitch每个步距的长度Leadframe With框架的宽度Indexs Per Leadframe每条框架的单元数X Right center Offset框架最右边界到右边第一只送带单元中心的距离X Left center Offset框架最左边界到左边第一只送带单元中心的距离Y Front center OffsetLeadframe Thickness框架厚度Indexing clearance框架在移动时加热块最少下降的距离Bondplane offset压焊高度的补偿Clamp Force Offset夹具夹紧力的补偿

30、ParameterDefault / Allowable RangeFunctionAccuracy走带参数设定后系统能承受的最大误差量Max Empty Slot count空料后最多夹料的槽数Max Skip no Vacuum允许在检测出真空有问题时跳过的最多单元数。Unclamp Dwell time在夹具盖板打开后到下一个第一开始移动前的延时时间L/F 1st index Delay对第一个单元自压板合上到开始识别之间的延时时间,产品在做压焊识别前提供产品加热用的延时时间L/F 2nd index Delay除第一个单元以外的单元的延时时间Min preheat time最少预热时间

31、Max preheat time最长预热时间L/f clearance两条框架间的距离Index speedParameterDefault / Allowable RangeFunctionCenter grip offset框架中间局部在夹紧定位时爪子的偏移量。Right grip offset爪子抓取框架的最右端时爪子的偏移量Left grip offset爪子抓取框架的最右端时爪子的偏移量X pull offsetPull爪子抓料时x方向的位置量Y pull offsetPull爪子伸进料盒抓料时Y方向的位置量Input rail y-registration框架进轨道后升降台会在y方

32、向移动On:移动到工作台轨道中心一致的位置就停下来。Off:移动到框架碰到后轨道就停下来。L/F Support框架出料时的支撑功能。Eject y offset推料时Y方向的偏移量Jam detec ModeJam region:从送料开始到送进料盒200mils有效Entrie eject:全程检测Jam Threshold检测灵敏度,越小越灵敏Eject Speed送料速度ParameterFunctionClamp full openYes/no是否把夹具X开最大Clamp focus motionPrs after/During clamp focus motionAfter:是指框

33、架压好之后开始识别During:到焦距开始同时。Count empty soltYes/noCount skip no vacuumYes/noInput wall L/F registrationYes/no进料传感器检测有无料进工作台Leadframe present sensorTheta correctionYes/no走带过程框架的角度确认Check device over heatYes/no检测过热Index eye pointsLast found/As toughtAs touch:prs的起始点是从teach时的绝对位置开始Last found:刚刚识别过的位置Parame

34、terDefault / Allowable RangeFunction1、Magazine parameters 1input 、output 、both 2slot pitch 3distance from bottom 4Magazine height 5slot height 6magazine width 7number of slots选择项槽与槽之间的距离料盒的底部高度料盒的高度槽高料盒的宽度总的槽数2、magazine slot ordering料盒的升降方向3、magazine alignment parameters(1) initial inject z offset (2) final inject z offset(3) initial eject z offset(4) final eject z offset料盒的参数微调和手动微调40 / 40

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