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1、摘要在机电一体化系统中，传感器处系统之首，其作用相当于系统感受器官，能快速、精确地获取信息并能经受严酷环境考验，是机电一体化系统达到高水平的保证。如缺少这些传感器对系统状态和对信息精确而可靠的自动检测，系统的信息处理、控制决策等功能就无法谈及和实现。文章概述传感器研究现状与发展，探讨传感器在机电一体化系统中的应用，并分析我国传感器技术发展的若干问题及发展方向。关键词：传感器技术，光机电一体化，应用摘要O目录O引言1第一章传感器在机电一体化系统中的作用及地位11.1 机器人用传感器21.2 机械加工过程的传感检测技术21.3 汽车自动控制系统中的传感技术3第二章、常用传感器的类型、特点、结构及用
2、途31. 1电阻式传感器32. 2电容式传感器53. 3电感式传感器64. 4压电式传感器65. 5霍尔式传感器7第三章机电一体化系统中传感器的选择错误!未定义书签。3.1 数控机床对传感器的要求93.2 位移的检测93.3 位置的检测103.4 速度的检测103.5 压力的检测103.6 温度的检测H3.7 刀具磨损的监控11第四章我国传感器技术的发展趋势错误!未定义书签。4.1与国外的差距124.2今后的发展趋势12结论13参考文献20引言从20世纪80年代起，逐步在世界范围内掀起一股“传感器热”，各先进工业国都极为重视传感技术和传感器研究、开发和生产。传感技术已成为重要的现代科技领域，传
3、感器及其系统生产已成为重要的新兴行业。在机电一体化系统中，传感器的作用相当于系统的感觉器官，即从待测对象那里获取能反映待测对象特征和状态的信号。检测传感技术的内容，一是研究如何将各种物理量（如位置、位移、速度、加速度、力、温度、压力、流量、成分等等）转换成与之成比例的电量；二是研究对转换的电信号的加工处理，如放大、补偿、标度变换等等。机电一体化系统要求，检测传感装置能快速、精确、可靠地获取信息，并价格低廉。但是，目前检测传感技术的发展还难以满足控制系统的要求。不少机电一体化系统不能达到满意的效果，或无法达到设计要求的关键原因，在于没有合适的传感器。因此检测传感技术是机电一体化系统中的关键技术。
4、第一章传感器在机电一体化系统中的作用及地位在机电一体化系统中，传感器处系统之首，其作用相当于系统感受器官，能快速、精确地获取信息并能经受严酷环境考验，是机电一体化系统达到高水平的保证。如缺少这些传感器对系统状态和对信息精确而可靠的自动检测，系统的信息处理、控制决策等功能就无法谈及和实现。传感器是左右机电一体化系统（或产品）发展的重要技术之一，广泛应用于各种自动化产品之中。1传感器的研究现状与发展人类对客观世界的认识和改造总是以检测工作作为基础的，随着人类探知领域和空间的拓展，电子信息种类日益繁多，信息传递速度日益加快，信息处理能力日益增强，作为现代信息技术的三大核心技术之一的检测传感技术发展迅
5、速，渗透到各行各业，方方面面，促进了经济转型和社会发展，直接影响着人类文明发展和进步。检测传感技术的发展同时也引起了各国为发展传感器技术的激烈竞争，从20世纪80年代起,逐步在世界范围内掀起一股“传感器热”，世界各国都把检测传感技术作为在高新技术发展方面争夺的一个重要领域，极为重视检测传感技术和传感器研究、开发和生产。检测传感技术已成为重要的现代科技领域，传感器及其系统生产已成为重要的新兴行业。2传感器在机电一体化系统中的应用作为机电一体化的基本支撑技术，检测传感技术就像神经和感官一样，广泛应用于各种机电一体化产品之中，源源不断地提供种种信息，以便机电一体化系统能高精度地完成自动控制和自动调节
6、功能。1.1 机器人用传感器工业机器人之所以能够准确操作，是因为它能够通过各种传感器来准确感知自身、操作对象及作业环境的状态，包括：其自身状态信息的获取通过内部传感器（位置、位移、速度、加速度等）来完成，操作对象与外部环境的感知通过外部传感器来实现，这个过程非常重要，足以为机器人控制提供反馈信息。1.2 机械加工过程的传感检测技术（1）切削过程和机床运行过程的传感技术。切削过程传感检测的目的在于优化切削过程的生产率、制造成本或（金属）材料的切除率等。切削过程传感检测的目标有切削过程的切削力及其变化、切削过程颤震、刀具与工件的接触和切削时切屑的状态及切削过程辨识等，而最重要的传感参数有切削力、切
7、削过程振动、切削过程声发射、切削过程电机的功率等。对于机床的运行来讲，主要的传感检测目标有驱动系统、轴承与回转系统、温度的监测与控制及安全性等，其传感参数有机床的故障停机时间、被加工件的表面粗糙度和加工精度、功率、机床状态与冷却润滑液的流量等。（2）工件的过程传感。与刀具和机床的过程监视技术相比，工件的过程监视是研究和应用最早、最多的。它们多数以工件加工质量控制为目标。20世纪80年代以来，工件识别和工件安装位姿监视要求也提到日程上来。粗略地讲，工序识别是为辨识所执行的加工工序是否是工（零）件加工要求的工序；工件识别是辨识送入机床待加工的工件或者毛坯是否是要求加工的工件或毛坯，同时还要求辨识工
8、件安装的位姿是否是工艺规程要求的位姿。此外，还可以利用工件识别和工件安装监视传感待加工毛坯或工件的加工裕量和表面缺陷。完成这些识别与监视将采用或开发许多传感器，如基于TV或CCD的机器视觉传感器、激光表面粗糙度传感系统等。（3）刀具,砂轮的检测传感。切削与磨削过程是重要的材料切除过程。刀具与砂轮磨损到一定限度（按磨钝标准判定）或出现破损（破损、崩刃、烧伤、塑变或卷刀的总称），使它们失去切（磨削能力或无法保证加工精度和加工表面完整性时，称为刀具/砂轮失效。工业统计证明，刀具失效是引起机床故障停机的首要因素，由其引起的停机时间占NC类机床的总停机时间的1/57/3.此外，它还可能引发设备或人身安全
9、事故，甚至是重大事故。1.3 汽车自动控制系统中的传感技术随着传感器技术和其它新技术的应用，现代化汽车工业进入了全新时期。汽车的机电一体化要求用自动控制系统取代纯机械式控制部件，这不仅体现在发动机上，为更全面地改善汽车性能，增加人性化服务功能，降低油耗，减少排气污染，提高行驶安全性、可靠性、操作方便和舒适性，先进的检测和控制技术已扩大到汽车全身。在其所有重点控制系统中，必不可少地使用曲轴位置传感器、吸气及冷却水温度传感器、压力传感器、气敏传感器等各种传感器第二章、常用传感器的类型、特点、结构及用途传感器已广泛应用于航天、航空、国防科研、信息产业、机械、电力、能源、交通、冶金、石油、建筑、邮电、
10、生物、医学、环保、材料、灾害预测预防、农林、渔业生产、食品、烟酒制造、机器人、家电等诸多领域，可以说几乎渗透到每个领域。下面，我就几类基本类型的传感器做些介绍：2.1 电阻式传感器电阻式传感器是把被测量转换为电阻变化的一种传感器.按工作的原理可分为：变阻器式、电阻应变式、热敏式、光敏式、电敏式。（1）变阻器式传感器变阻器式传感器的等效电路如下图：rp-rxERL图2-1变阻器式传感器如果电阻丝的直径和材料确定，单位位移的电阻值为一常数，传感器的输出与输入成线性关系。变阻式传感器又称为电位器式传感器。它们是由电阻元件及电刷（活动触点）两个基本部分组成。电刷相对于电阻元件的运动可以是直线运动、转动
11、和螺旋运动，因而可以将直线位移或角位移转换为与其成一定函数关系的电阻或电压输出。这类传感器结构简单，尺寸小，性能稳定。受环境影响小。不需放大。滑线变阻器式传感器精度可达O.l%o在生活中，应用实例诸多，如重量的自动检测一配料设备、煤气包储量检测等。（2）电阻应变式传感器电阻应变式传感器由弹性敏感元件、电阻应变计、补偿电阻和外壳组成，可根据具体测量要求设计成多种结构形式。弹性敏感元件受到所测量的力而产生变形，并使附着其上的电阻应变计一起变形。电阻应变计再将变形转换为电阻值的变化，从而可以测量力、压力、扭矩、位移、加速度和温度等多种物理量。电阻应变式传感器是基于电阻应变片的使用，金属电阻应变片的工
12、作原理是基于金属导体的应变效应，即金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着它所受机械变形（伸长或缩短）的变化而发生变化的现象。电桥电路按辅助电源分有直流电桥和交流电桥，由于直流电桥的输出信号在进一步放大时易产生零漂，故交流电桥的应用更为广泛。直流电桥只用于较大应变的测量，交流电桥可用于各种应变的测量。电桥电路按其工作方式分有单臂、双臂和全桥三种如下图：cUiOOUi00UlO3S)Q)图2-2直流电桥的连接方式a）半桥单臂b）半桥双臂C）全桥金属应变片的稳定性和温度特性好，但其灵敏度小；而半导体应变片应变灵敏度大。体积小。能制成具有一定应变电阻的元件，但它的缺点是温度稳定性和可重复性不
13、如金属应变片。它的应用实例如桥梁固有频率测量、电子称、桶式测力传感器等。2. 2电容式传感器把被测的机械量，如位移、压力等转换为电容量变化的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，若不考虑边缘效应，其电容量为C=Md当被测参数变化使得上式中的尔/或发生变化时，电容量C也随之变化。若保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。电容式传感器的等效电路如图：0-j图2-3电容式传感器电容式传感器的测量电路同样为电桥电路，如下图:2.1 4电容式传感器电容式传感器
14、的温度稳定性好，结构简单，动态响应好，可进行非接触测量，然而，输入阻抗高，负载能力差。电容式传感器精度可达0.01%。其运用实例有电容传声器、转速测量、电容测厚仪、电容式油量表等。2.3 电感式传感器电感式传感器是利用电磁感应把被测的物理量如位移，压力，流量，振动等转换成线圈的自感系数和互感系数的变化，再由电路转换为电压或电流的变化量输出，实现非电量到电量的转换。电感式传感器具有以下特点：（1）结构简单，传感器无活动电触点，因此工作可靠寿命长。（2）灵敏度和分辨力高，能测出0.01微M的位移变化。传感器的输出信号强，电压灵敏度一般每毫M的位移可达数百毫伏的输出。（3）线性度和重复性都比较好，在
15、一定位移范围（几十微M至数毫M）内，传感器非线性误差可达0.05%飞1%。同时，这种传感器能实现信息的远距离传输、记录、显示和控制，它在工业自动控制系统中广泛被采用。但不足的是，它有频率响应较低，不宜快速动态测控等缺点。螺管插铁型电感传感器它由螺管线圈和与被测物体相连的柱型衔铁构成。其工作原理基于线圈磁力线泄漏路径上磁阻的变化。衔铁随被测物体移动时改变了线圈的电感量。这种传感器的量程大，灵敏度低，结构简单，便于制作。电感式传感器的应用实例有：测厚、零件计数、侧转速、无损探伤、测微技术等。2.4 压电式传感器压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。当材料受力作用而
16、变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。压电式传感器的等效电路：压电元件两电极间的压电陶瓷或石英晶体为绝缘体，因此可以构成一个电容器，晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板，极板间物质等效于一种介质，压电元件受外力时，两表面产生等量的正负电荷。2.5霍尔式传感器霍尔传感器是利用霍尔元件基于霍尔效应原理而将被测量转换成电动势输出的一种传感器。由于霍尔元件在静止状态下，具有感受磁场的独特能力，并且具有结构简单、体积小、噪声小、频率范围宽(从直流到微波)、动态范围大(输出电势变化范围可达Iooo:D、寿命长等特点，因此获得了广泛应用。金属或半导体薄片置于磁感应强度为B的磁场中，磁场方
17、向垂直于薄片，当有电流流过薄片时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势，这种现象称霍尔效应。如下图:图2-5霍尔效应原理图霍尔元件的主要性能参数：(1)输入电阻和输出电阻输入电阻：控制电极间的电阻输出电阻：霍尔电极之间的电阻(2)额定控制电流和最大允许控制电流额定控制电流：当霍尔元件有控制电流使其本身在空气中产生IOC温升时，对应的控制电流值最大允许控制电流：以元件允许的最大温升限制所对应的控制电流值(3)不等位电势：当霍尔元件的控制电流为额定值时，若元件所处位置的磁感应强度为零，测得的空载霍尔电势。(4)寄生直流电势霍尔元件零位误差的一部分当没有外加磁场，霍尔元件用交流控制电流时，霍尔电极
18、的输出有一个直流电势控制电极和霍尔电极与基片的连接是非完全欧姆接触时，会产生整流效应。两个霍尔电极焊点的不一致，引起两电极温度不同产生温差电势(5)霍尔电势温度系数在一定磁感应强度和控制电流下，温度每变化1度时，霍尔电势变化的百分率。霍尔传感器的灵敏度和线性度主要取决于磁路系统和霍尔元件的特性。霍尔传感器动态性能好。霍尔传感器的基本测量电路如下：激励电流由电压源E供给，其大小由可变电阻来调节。图2-6霍尔传感器的基本测量电路霍尔型传感器的应用有：霍尔转速表、霍尔式微压力传感器、各种位移传感器等。第三章机电一体化系统中传感器的选择传感器的应用范围广，种类繁多。如何为我们机电一体化系统选择合适的传
19、感器呢？下面我们就以数控机床为例讲讲机电一体化系统中传感器的选择。数控机床综合了机械、自动化、计算机、测量、微电子等最新技术，使用了多种传感器，由于高精度、高速度、高效率及安全可靠的特点，在制造业技术设备更新中，数控机床正迅速地在企业得到普及。数控机床是一种装有程序控制系统的自动化机床，能够根据已编好的程序，使机床动作并加工零件。它综合了机械、自动化、计算机、测量、微电子等最新技术，使用了多种传感器。3.1数控机床对传感器的要求(2)满 足 精 度(3 ) 使用维护方便(4)可靠性高和抗干扰性强速 度 的 要 求 合机床运行环境成本低不同种类数控机床对传感器的要求也不尽相同，一般来说，大型机床
20、要求速度响应高，中型和高精度数控机床以要求精度为主。3.2位移的检测位移检测的传感器主要有脉冲编码器、直线光栅、旋转变压器、感应同步器等。(1)脉冲编码器的应用脉冲编码器是一种角位移(转速)传感器，它能够把机械转角变成电脉冲。脉冲编码器可分为光电式、接触式和电磁式三种，其中，光电式应用比较多。(2)直线光栅的应用直线光栅是利用光的透射和反射现象制作而成，常用于位移测量，分辨力较高，测量精度比光电编码器高，适应于动态测量。在进给驱动中，光栅尺固定在床身上，其产生的脉冲信号直接反映了拖板的实际位置。用光栅检测工作台位置的伺服系统是全闭环控制系统。(3)旋转变压器的应用旋转变压器是一种输出电压与角位
21、移量成连续函数关系的感应式微电机。旋转变压器由定子和转子组成，具体来说，它由一个铁心、两个定子绕组和两个转子绕组组成，其原、副绕组分别放置在定子、转子上，原、副绕组之间的电磁耦合程度与转子的转角有关。(4)感应同步器的应用感应同步器是利用两个平面形绕组的互感随位置不同而变化的原理制成的。其功能是将角度或直线位移转变成感应电动势的相位或幅值，可用来测量直线或转角位移。按其结构可分为直线式和旋转式两种。直线式感应同步器由定尺和滑尺两部分组成，定尺安装在机床床身上，滑尺安装于移动部件上，随工作台一起移动；旋转式感应同步器定子为固定的圆盘，转子为转动的圆盘。感应同步器具有较高的精度与分辨力、抗干扰能力
22、强、使用寿命长、维护简单、长距离位移测量、工艺性好、成本较低等优点。直线式感应同步器目前被广泛地应用于大位移静态与动态测量中，例如用于三坐标测量机、程控数控机床、高精度重型机床及加工中心测量装置等。旋转式感应同步器则被广泛地用于机床和仪器的转台以及各种回转伺服控制系统中。3. 3位置的检测位置传感器可以空来检测位置，反映某种状态的开关，和位移传感器不同。位置传感器有接触式和接近式两种。（1）接触式传感器的应用接触式传感器的触头由两个物体接触挤压而动作，常见的有行程开关、二维矩阵式位置传感器等。行程开关结构简单、动作可靠、价格低廉。当某个物体在运动过程中，碰到行程开关时，其内部触头会动作，从而完
23、成控制，如在加工中心的X、Y、Z轴方向两端分别装有行程开关，则可以控制移动范围。二维矩阵式位置传感器安装于机械手掌内侧，用于检测自身与某个物体的接触位置。（2）接近开关的应用接近开关是指当物体与其接近到设定距离时就可以发出“动作”信号的开关，它无需和物体直接接触。接近开关有很多种类，主要有自感式、差动变压器式、电涡流式、电容式、干簧管、霍尔式等。接近开关在数控机床上的应用主要是刀架选刀控制、工作台行程控制、油缸及汽缸活塞行程控制等。霍尔传感器是利用霍尔现象制成的传感器。将错等半导体置于磁场中，在一个方向通以电流时，则在垂直的方向上会出现电位差，这就是霍尔现象。将小磁体固定在运动部件上，当部件靠
24、近霍尔元件时，便产生霍尔现象，从而判断物体是否到位。速度传感器是一种将速度转变成电信号的传感器，既可以检测直线速度，也可以检测角速度，常用的有测速发电机和脉冲编码器等。测速发电机具有的特点是：（1）输出电压与转速严格成线性关系；（2）输出电压与转速比的斜率大。可分成交流和直流两类。脉冲编码器在经过一个单位角位移时，便产生一个脉冲，配以定时器便可检测出角速度。在数控机床中，速度传感器一般用于数控系统伺服单元的速度检测。3.3 压力的检测压力传感器是一种将压力转变成电信号的传感器。根据工作原理，可分为压电式传感器、压阻式传感器和电容式传感器。它是检测气体、液体、固体等所有物质间作用力能量的总称，也
25、包括测量高于大气压的压力计以及测量低于大气压的真空计。电容式压力传感器的电容量是由电极面积和两个电极间的距离决定，因灵敏度高、温度稳定性好、压力量程大等特点近来得到了迅速发展。在数控机床中，可用它对工件夹紧力进行检测，当夹紧力小于设定值时，会导致工件松动，系统发出报警，停止走刀。另外，还可用压力传感器检测车刀切削力的变化。再者，它还在润滑系统、液压系统、气压系统被用来检测油路或气路中的压力，当油路或气路中的压力低于设定值时，其触点会动作，将故障信号送给数控系统。3.4 温度的检测温度传感器是一种将温度高低转变成电阻值大小或其它电信号的一种装置。常见的有以钳、铜为主的热电阻传感器、以半导体材料为
26、主的热敏电阻传感器和热电偶传感器等。在数控机床上，温度传感器用来检测温度从而进行温度补偿或过热保护。在加工过程中，电动机的旋转、移动部件的移动、切削等都会产生热量，且温度分布不均匀，造成温差，使数控机床产生热变形，影响零件加工精度，为了避免温度产生的影响，可在数控机床上某些部位装设温度传感器，感受温度信号并转换成电信号送给数控系统，进行温度补偿。此外，在电动机等需要过热保护的地方，应埋设温度传感器，过热时通过数控系统进行过热报警。3.5 刀具磨损的监控刀具磨损到一定程度会影响到工件的尺寸精度和表面粗糙度，因此，对刀具磨损要进行监控。当刀具磨损时，机床主轴电动机负荷增大，电动机的电流和电压也会变
27、化，功率随之改变，功率变化可通过霍尔传感器检测。功率变化到一定程度，数控系统发出报警信号，机车停止运转，此时，应及时进行刀具调整或更换。以上介绍的传感器在数控机床上的应用是目前的状况，但随着传感器和数控机床的发展，有些传感器将被淘汰，如旋转变压器等，而新的传感器将不断出现，会使数控机床更加完善，自适应更强。第四章我国传感器技术的发展趋势传感器技术是实现自动控制、自动调节的关键环节，也是机电一体化系统不可缺少的关键技术之一，其水平的高低，在很大程度上影响和决定着系统的功能；其水平越高，系统的自动化程度就越高。在一套完整的机电一体化系统中，如果不能利用传感检测技术对被控对象的各项参数进行及时准确地
28、检测并转换成易于传送和处理的信号，我们所需要的用于系统控制的信息就无法获得，进而使整个系统就无法正常有效的工作。4.1 与国外的差距我国传感器的研究，始于20世纪80年代，主要集中在专业研究所和大学，与国外先进技术相比，还还有较大差距。主要表现在：(1) 我国传感器的产业结构，存在着企业分散、实力不强、市场开拓不力等问题。我国从事传感器研究和生产的单位约1300家，居世界第一，但真正形成一定规模的却寥寥无几。多数企业是低水平的重复，处在生产的初级阶段。(2) 传感器属于多学科交叉、技术密集的高技术产品，其技术水平决定于科学研究的水平。而我国在传感器研究方面科研投资强度偏低，科研设备落后，加之我
29、国存在科研和生产脱节的现象，所以影响了传感器科研成果的转化，造成了我国传感器产品综合实力较低，阻碍了传感器产业的发展。世界传感器的种类约有2万多种，而我国经过“八五”、“九五”的发展，目前也仅有3000多种，尚有大量品种需要开发。(3) 我国传感器产品的技术水平与国外有较大差距，主要是长期稳定性和可靠性较差，限制了其应用领域和产业的发展。4.2 今后的发展趋势虽然我国传感器产业的现状还不能适应国民经济发展的需要，产品技术水平与国外相比还有较大差距，但是从统一市场的观点看，我国具有传感器的广阔市场，所以我国传感器产业发展的前途还是光明的。因此，必须加强技术研究和引进先进设备，以提高整体水平。传感
30、器技术今后的发展趋势，主要表现在以下方面：(1)新材料开发。传感器材料是传感器技术的重要基础，是传感器技术升级的重要支撑。随着材料科学的进步，传感器技术日臻成熟，其种类越来越多，除了早期使用的半导体材料、陶瓷材料以外，光导纤维以及超导材料的开发,为传感器的发展提供了物质基础。例如，根据以硅为基体的许多半导体材料易于微型化、集成化、多功能化、智能化，以及半导体光热探测器具有灵敏度高、精度高、非接触性等特点，发展红外传感器、激光传感器、光纤传感器等现代传感器。在敏感材料中，陶瓷材料、有机材料发展很快，可采用不同的配方混合原料，在精密调配化学成分的基础上,经过高精度成型烧结，得到对某一种或某几种气体
31、具有识别功能的敏感材料,用于制成新型气体传感器。此外，高分子有机敏感材料，是近几年人们极为关注的具有应用潜力的新型敏感材料，可制成热敏、光敏、气敏、湿敏、力敏、离子敏和生物敏等传感器。传感器技术的不断发展，也促进了更新型材料的开发,如纳M材料等。美国NRC公司已开发出纳MZrO2气体传感器,控制机动车辆尾气的排放,对净化环境效果很好,应用前景比较广阔。由于采用纳M材料制作的传感器，具有庞大的界面,能提供大量的气体通道,而且导通电阻很小,有利于传感器向微型化发展，随着科学技术的不断进步将有更多的新型材料诞生。（2）应用新技术和新的物理效应，扩大检测领域的应用。检测原理大多以各种物理效应为基础。近
32、代物理学的发展，对仿生学的研究、仿造生物的感觉功能的新型传感器的开发应用，使得传感器技术的应用领域更广阔。如今的检测领域，正向着社会需要各方面扩展，不仅用于工业部门，而且也涉及到工程、海洋开发、宇宙航行等尖端科学技术和新兴工业领域，生物、医疗，环境污染监测、危险品和毒品的侦察、安全监测方面，同时也渗透到人类的日常生活当中。（3）向高精度发展，研制出灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器，以确保生产自动化的可靠性。近年来，随着科学技术的不断发展，要求灵敏度、精确度和稳定性等尽可能的高。例如超精度的在线检测，要求0.1mo对传感器可靠性故障率的数学模型和计算方法的研究，大大提高检测系
33、统的可靠性。为了使自动检测装置适应在各种复杂条件下可靠工作，要求研制的检测系统，具有较高的抗干扰能力和适应生产要求的较长的使用寿命。（4）发展小型化、集成化、多功能化、多维化、智能化和高性能、扩大量程范围的检测装置。随着半导体材料的研究和新工艺的进展，已研制出一批新型半导体传感器；光刻、扩散及各向异性腐蚀等集成电路新工艺，也已渗透到传感器的制造过程中，从而使检测系统更趋于小型化、集成化、多功能化、多维化及性能更强。（5）向智能化数字化发展。随着现代化的发展，传感器的功能已突破传统的功能，其输出不再是一个单一的模拟信号（如0-10mV）,而是经过微电脑处理好后的数字信号，有的甚至带有控制功能，即
34、智能传感器。结论在机电一体化系统中，无论是机械电子化产品（如数控机床），还是机电相互融合的高级产品（如机器人），都离不开检测与传感器这个重要环节。检测传感技术的不断发展是为了适应国民经济发展的需求，取得的进展也是十分引人瞩目的，今后必将有更辉煌的飞跃。参考文献1韩连英，王晓红.光纤传感器在机械设备检测中的应用J.光机电信息.20062张开逊.现代传感技术在信息科学中的地位J工业计量.2006(1)3武昌俊.自动检测技术及应用刈.北京：机械工业出版社，2005.4梁景凯.机电一体化技术与系统W.北京：机械工业出版社，1999.5陈瑜.国外机电一体化技术发展趋势J.国外机电一体化技术.2000,56胡泓、姚伯威主编.机电一体化原理及应用.北京：国防工业出版社，19997李建勇.机电一体化技术M北京:科学出版社,2004.
