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1、浙江大学微纳加工中心实验室安全管理规范一、实验室准入制度。所有进入实验室工作的人员需按照学校规定参加相关实验室安全考核，并接受中心的实验室安全知识培训，临时来访人员应遵守相关安全规定。二、实验室开放时间内至少2人在场，其中至少有1名为中心工作人员。三、实验内容安全审核制度。中心对所有实验内容进行审核，尤其涉及使用剧毒和易爆化学药品等具有安全隐患的实验内容从严审核和监管，未审核通过的禁止实验。四、实验室建设与改造项目安全审核制度。新建、扩建、改造实验室或设施时，必须充分考虑安全因素，加强实验室使用者、设计者和建设者之间的沟通，广泛听取意见，严格按照国家有关安全和环保的规范要求设计、施工；项目建成
2、后，须经安全及其它验收工作，并完成相关交接工作后方可投入使用。五、应急设施和程序。制定安全应急程序和配备必要的安全应急设施，所有进入实验室工作的人员需了解安全应急程序，知晓应急电话号码、应急设施和用品的位置，掌握正确的使用方法。六、危险化学品管理。按照国家法律法规以及学校的相关规定，对涉及危险化学品的所有环节进行安全监督与管理，包括采购、运输、存贮、使用、废弃、回收等过程。特别加强气体钢瓶、剧毒品、易燃易爆、易制毒品、易制爆品的管理。（详见附件“浙江大学微纳加工中心化学危险品安全使用规定”）七、实验废弃物的安全管理。加强实验室排污处理装置（系统）的建设和管理，不得将实验废弃物倒入下水道或混入生
3、活垃圾当中；实验废弃物要实行分类存放，做好无害化处理、包装和标识，按照学校的相关规定，定时送往相应的收集点，由学校有关职能部门联系有资质的单位进行处置。特别是剧毒化学废弃物应有专门的处置措施。八、所有安全监管责任落实到人。对剧毒化学药品、剧毒气体的使用，由实验室管理人员全程监管。九、发生事故，用户第一时间按预案现场紧急处理或逃生；处理向现场工作人员汇报；重大事故第一时间向学校保卫处等相关部门汇报（）。十、仪器设备安全管理。1 .加强各类仪器设备的安全管理，定期维护、保养；存在安全问题的仪器设备停止使用，及时检修，做好记录。保证精密、大功率、强电等仪器设备接地安全，并采取严密的安全防范措施，对服
4、役时间较长、具有潜在安全隐患、无法修复的设备应及时报废。2 .加强仪器设备操作人员的业务和安全培训，按照操作规程进行实验。国家规定的特殊仪器设备和岗位实行上岗证制度。3 .高温、高压、高辐射、高速运转、使用剧毒和易燃易爆品等危险仪器设备的使用和维护检修，严格遵守操作规范，配备必要防护用品。十一、水电安全管理1 .用户不得拆改实验室任何水电设施，不得乱接、乱拉电线。2 .用户未经许可，禁止触碰水、电、气等厂务设施。3 .设备不得在无人情况下开机。4 .严禁使用明火电炉。5 .水龙头用完及时关闭。6 .定期检查上下水管路、化学冷却冷凝系统的橡胶管等，避免发生因管路老化、堵塞等情况所造成的安全事故。
5、十二、安全设施管理。配置消防器材（如灭火器、消防栓、防火门、防火闸、烟雾报警等）、视频监控、危险气体监控、通风（必要时需加装吸收系统）、废水废气处理、洗眼装置、防护罩、警戒隔离等安全设施，配备必要的防护用品，加强安全设施管理，定期更新、维护保养和检修，做好相关记录。微纳加工中心化学危险品安全使用规定为进一步规范和加强微纳加工中心化学危险品的安全管理，严防事故发生，保障人员生命和国家财产安全，保证中心正常的科研和其他工作秩序。二、范围微纳加工中心内部凡购买、储存、使用和运输化学品必须遵守本规定。三、职责保证微纳加工中心化学危险品安全使用。四、微纳加工中心化学危险品控制第一条化学品的申购1 .常用
6、化学品（如丙酮、异丙醇、无水乙醇、盐酸、硫酸、氢氟酸）由中心统一提供。2 .化学危险品必须到浙江大学材料与化学品采购管理平台购买（）o3 .购买管制类化学品根据不同类型按以下程序进行审批：D购买剧毒化学品、第一类易制毒化学品和爆炸品（含硝酸镂、苦味酸）的，有实验室负责人和所在学院（系）审核，安全保卫处和实验室与设备管理处审批。2）购买麻醉药品、精神药品和医疗用毒性药品的，有实验室负责人和所在学院（系）审核，实验室与设备管理处审批。3）购买易制爆化学品和第二、三类易制毒化学品的，由实验室负责人审核，所在学院（系）审批。第二条化学品的存放1 .超净室内严禁存放剧毒品、第一类易制毒品和爆炸品、麻醉药
7、品和第一类精神药品。2 .超净室及走廊等不得囤积危险化学品，对于少量的实验试剂必须有序地摆放在专用试剂柜内，通风橱内不得储存任何化学药O口口。3 .严禁使用敞口容器（如烧杯、培养皿等）储存任何化学试剂及其溶液。4 ,所有储存自配化学品的容器都要贴上清晰永久标签，以标明内容（化学品名称、配制人姓名及联系方式、配制日期）；严禁存放储藏过程中不稳定或形成过氧化物的化学药品。5 .化学药品应该储藏在规定位置，装有腐蚀性液体容器的储藏位置应当尽可能低，并放置于收集盘内。6 .将互不兼容的化学品分开储藏。以防化学品相互作用产生有毒烟雾、火灾，甚至爆炸。第三条化学品的领用1 .领用人在初次使用某种危险化学品
8、进行实验前，务必仔细查阅其相应化学品安全技术说明书（MSDS）,了解其安全操作方法及有关防护知识。2 .化学危险品和剧毒品经中心同意后方可领用，领用者必须严格按照操作规程使用，不许借给他人使用，严格保管，使用后的废料必须回收，剩余的必须退还。在实验中，对于剧毒化学品、第一类易制毒化学品、爆炸品的使用须逐次逐条双人记录；易制毒、易制爆化学品及其他化学品的使用须逐次逐条记录；实验结束后，剩余试剂必须归还。3 .设计实验时，在能够达到实验目的前提下，应尽量不使用或少使用管制类化学品，以减少安全隐患。4 .具有危险性的实验内容必须事先制定缜密的操作规程，写明所用试剂及反应产物的性质，预估实验中可能出现
9、的异常情况及相应的防备措施（如防爆、防火、防溅、防中毒等），报中心审核，经批准后，按操作规程严格执行。5 .进行具有危险性实验（如剧毒、易燃、强腐蚀性、强酸强碱等）时，房间内不应少于2人；操作者必须佩戴防护器具（防护镜、口罩、手套等）。6 .涉及有毒、有害、有气味化合物的实验须在工作正常的通风柜中进行，并做好相应防护措施。7 .超净室内必须在相应区域（清洗间、光刻间）内使用化学试剂，严禁将化学试剂及其溶液带出相应区域。8 .严禁往清洗槽、垃圾桶倾倒有机溶剂和有毒、有害废物，有毒有害废液和废旧试剂须按规定进行分类收集和处理；使用化学危险品过程中产生的废气、废液、废渣、粉尘应按规定处置，详见化学废
10、弃物安全管理办法及垃圾处置规范。9 .其他涉及化学品管理规定以及清洗间的使用按照清洗间安全管理规范及清洗间安全应急处理方法。化学废弃物安全管理办法及垃圾处置规范根据中华人民共和国固体废弃物污染环境防治法和国家及学校有关规定，制定以下化学废弃物安全管理办法及垃圾处置规范。1 .化学清洗间及光刻间内均放置有专门容器，用于回收或收集化学废弃物。成分单一的化学物质（特别是有机溶剂）应尽可能回收利用。严禁将化学废弃物倒入下水道或混入普通垃圾中。2 .化学废弃物实行分类收集、包装和密封存放，并贴好学校统一印制的化学废弃物专用标签。有机废液按有机废液按甲类（不含卤素）、甲类（含卤素）、非甲类（不含卤素）和非
11、甲类（含卤素）分类收集，甲类和非甲类的混合废液按甲类收集。严禁将含卤素废液混入不含卤素的废液中，或将甲类废液混入非甲类废液中。3 .含化学品的试剂瓶和烧瓶，以及使用过的其他化学废弃物，必须密封包装，并贴好化学废弃物专用标签。4 .化学废弃物存放于实验室内，不得堆放在实验室门口等公共场所。实验人员必须按规定的时间和地点及时将废弃物直接送交化学废弃物收集点。未经培训的非专业人员不得参与化学废弃物的处置。5 .废旧剧毒化学品的处置必须符合国家、学校的有关法律和浙江大学化学系剧毒化学品操作规程，并填写浙江大学废旧剧毒品处置申请表。针对不同的剧毒化学品，实验人员应制定相应的处置规范和应急预案，对残余、废
12、弃的剧毒品、废水或空瓶进行妥善处置。6 .对于产生有毒、有异味或刺激性气体的实验，应采用妥当尾气吸收装置处理后排放，严禁直接排放。7 .废弃玻璃器皿、注射器、针头等锐器废物单独收集，并盛放在塑料桶等不易被刺穿的容器中，不得混入其他废弃物和普通垃圾中，按规定的时间和地点将这类废弃物直接送交化学废弃物收集点。8 .废弃实验用防护手套单独收集于专用容器中，不得混入其他废弃物和普通垃圾中，按规定的时间和地点将这类废弃物直接送交化学废弃物收集点。9 .实验室普通垃圾应使用专用垃圾袋收集和包装，密封后置于指定的公共垃圾箱中。10 .对于违反上述规定的用户，将视情节和产生不良影响的严重程度，给予警告、通报批
13、评、暂停超净间使用权限等不同程度的处分。清洗间安全管理规范为保证清洗间的整洁有序，确保人员和工作环境的安全，特制定以下清洗间安全管理规范：1.清洗间负责人员负责监管清洗间的工作情况，有权纠正和制止违反规范人员的行为。2 .所有使用化学药品进行的湿法刻蚀、腐蚀工艺必须在清洗间操作。原则上有机清洗需在有机通风橱进行，无机清洗、酸碱腐蚀在无机通风橱进行。严禁在同一通风橱中进行有机和无机清洗。3 .清洗操作时，注意个人防护意识。无机清洗时，必须佩带完整的防护器具，包括：防酸碱手套、围裙、眼镜、面罩、护袖等；有机清洗时，必须佩带防护眼镜，若使用有毒或剧毒化学药品，如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等，必须佩带
14、完整的防护器具；任何清洗工艺，必须佩带完好的乳胶手套。所用个人防护用品使用完毕后，必须用水冲洗干净，再气枪风干。避免化学药品残留在防护用品上，影响他人使用，使用完毕后请放回原位。4 .使用化学药品必须预先了解所用化学药品的使用注意事项和相应的应急措施。进行清洗操作前必须看清化学药品标志，正确使用化学药品。5 .清洗间禁止任何人擅自配制或使用“王水”等洗液，如果必须使用，需要向中心负责人进行申请，同意后，必须在清洗间负责人的监督下使用和废液回收。6 .清洗操作时，要节约使用化学药品和无尘纸等耗材。要选用适合的器皿，不得用大的器皿清洗小的样品。化学药品用量参考：液面盖过样品不要超过ICm。使用化学
15、药品顺序：先使用已开启试齐U，已开启试剂使用完毕后再开启新的试剂，并在使用完毕后的空瓶表面写上“空”字。7 .清洗操作时，冷却、剥离等需要离开时，在无人看管情况下，放置在公共位置的任何溶液必须进行标识（使用人、药品名称、日期、时间），放置的位置不得影响其他人工作，清洗完毕后，请及时清除标识，没有标识的行为和没有及时清除标识将视为违规行为。加热任何化学溶液时，必须有人看守。8 .自配化学溶液如需存放，请做好标识：溶液名称、姓名电话，存放有效期15天，到期后作废液处理。放置化学溶液时遵循：有机与无机分开，酸、碱分开放置原则。9 .避免清洗质量交叉沾污问题的出现，需使用个人清洗器皿。严禁在未经允许的
16、情况下使用他人清洗用具；个人和公共清洗器皿使用完毕必须清洗干净，用气枪吹干后，放回指定位置。10 .在清洗间内使用的物品如滤纸、无尘纸等必须从中心领取，方可在超净间使用。IL严禁将使用后的化学药品直接倒入下水道内。清洗废液、腐蚀废液、光刻所用废液必须按照要求和指示倒入相应的废液回收桶，拧紧废液桶盖时，要向反方向回旋半圈，桶盖要松。处理无机废液时，要注意选择好相应的废液桶，倒废液之前加入5倍以上的去离子水稀释，其中废液稀释的水包括原溶液中的水。稀释时注意：把废液加入水中稀释（务必注意顺序）。废液倾倒时，要双手进行同一操作。不要一只手拿废液或空烧杯，一只手拧松或拧紧废液桶盖。12 .如果清洗完毕离
17、开清洗间，清理台面并检查通风门、灯、超声机、水浴锅、热板的开关电源是否关闭。13 .有机废液按甲类（含卤素）和非甲类（含卤素）分类收集，甲类和非甲类的混合废液按甲类收集。严禁将含卤素废液混入不含卤素的废液中，或将甲类废液混入非甲类废液中。14 .清洗前后要在记录本上分别登记完整的开始和结束时间、目的、化学药品名称等记录。石英及聚四氟公用器皿，使用时要详细登记时间及借用人等记录。公用器皿使用时要登记。不在清洗间记录本上填写记录的行为将按处罚规定进行处理。15 .废弃手套、无尘布、无尘纸等请放入专用垃圾桶，所用化学药品放回原处，按规范清洗台面再用压缩氮气吹干，最后用无尘纸擦净，保持清洗台整洁干爽。
18、禁止在清洗台上遗留任何废弃物，并及时关闭清洗台的通风门。清洗间使用人员有义务及时清理所用清洗台遗留的废弃物（或发现遗留废弃物后及时向中心管理人员举报）。中心每月将不定期进行巡检，如果在清洗间内无人使用而台面仍有废弃物存在，中心将对最后一位使用人员进行处罚。16 .在倾倒无机废液时，要注意观察是否有废液遗撒地面或桶外壁。或在清洗结束后，检查是否有水或其他液体洒落在清洗台附近的地面，若有一定要及时用无尘纸或其他方式处理干净。17 .清洗操作时，使用氢氟酸（HF）、氟化筱（NH4F）或（BOE）含有氟离子的化药时，必须用塑料的烧杯、量筒等器皿，禁止用玻璃及石英器皿。18 .配制无机溶液时，遵循：1）
19、配制溶液中含水时，先倒水，后倒入密度小的化学药品，再倒入密度大的化学药品；2）配制溶液中不含水时，先倒密度小的化学药品，再倒入密度大的化学药品。密度的大小可以根据分子量的大小区分，一般情况下分子量大的化学药品密度大，分子量小的化学药品密度小。19 .溶液加热时，要等到温度升到设定温度时，再放上器皿去加热，加热完毕后，关闭电源，等溶液冷却到室温才可以取出。如果通风厨内有人在用热板或水浴，要等别人用完后再用，或者询问别人加热的化学药品是否会与你的化学药品发生化学反应，有化学反应不可用，没有化学反应，才可以一起加热（一般：有机与无机，酸、碱不能同时加热操作）。20 .在清洗时，不慎把大量化学药品洒在
20、地面或发现有大量化学药品在地面，应立即通知中心工作人员，如果知道如何处理，可以协助工作人员一起处理。BoE或HF灼伤眼睛或皮肤，一分钟内用六氟灵冲洗15分钟以上，再用水冲洗，而后立即就医。21 .未经许可的情况下，1)不得擅自携带化学药品进出超净间；2)清洗间严禁摆放自带的大件物品。22 .未通过中心规定的培训和考核的人员不得擅自使用清洗间设备。23 .如果在清洗过程中，有任何疑问，应及早主动与清洗间负责人沟通。24 .本规定由微纳加工中心负责解释。清洗间安全应急处理方法1 .当大量化学药品撒到地面或其他地方，用户应做好标识及相应防护，并立即通知中心工作人员处理，如果知道处理方法，应协助工作人
21、员一起处理。1）无机化学药品处理方法是：强酸如H2S04,用弱碱如NaHC03中和处理；强碱如NaOH溶液，用弱酸如醋酸中和处理。2）有机化学药品处理方法是：用抹布或无尘纸吸干，再用去离子水冲洗并擦拭干净。2 .如果有酸液或碱液洒在身上，首先立即脱去衣服，用无尘纸或干的布擦拭干净皮肤上化学药品，再用大量去离子水冲洗15分钟以上，就医。3 .氢氟酸、BOE灼伤眼睛或皮肤，一分钟内用六氟灵冲洗，再用大量去离子水冲洗，而后立即就医。4 .当无机废液处理时，若倒错废液桶时，一定不要把此废液桶盖拧紧，而要打开桶盖，使化学药品反应时放出的热量与气体放出，否则可能造成废液桶爆炸。5 .在使用公共器皿时，不慎损坏器皿，要及时告知清洗间负责人，并用塑料胶带包裹好碎片进行处置。6 .当火灾发生时，要保持冷静，疏散人员，紧急撤离逃生。要用灭火器、灭火棉、消防栓等措施进行灭火。
