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1、ICS33.040.50CCSN09团体标准T/*2023器件封装键合用镀金铝线Aluminumplatedgoldbondingwiresformicroelectronicpackaging2023 -00-00 实施2023-00-00发布河南省有色金属行业协会发布,1.Z,1刖百本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由河南省有色金属行业协会提出并归口。本文件起草单位:河南理工大学、浙江东尼电子股份有限公司、河南科技大学、合肥中晶新材料有限公司,河南优
2、克电子材料有限公司本文件主要起草人:曹军、周洪亮、吴雪峰、沈晓宇、丁勇、王福荣、张跃敏、吕长春、周延军、李绍林、张俊超、程平器件封装键合用镀金铝线1范围本文件规定了器件封装键合用镀金铝线的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存和订货单(或合同)内容。(质量说明书)本文件适用于器件封装键合用镀金铝线(以下简称丝材)。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。YS/T YS/T GB/T GB/T871-201387
3、0-2020 10573-198915077-2008GB/T 17722-1999SJ/T 10626-1995SJ/T 10705-1996高纯铝化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法纯铝化学分析方法痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法有色金属细丝拉伸试验方法贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法键合金丝中杂质元素的ICP-AES测定方法半导体器件键合丝表面质量检验方法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4分类及标记41产品分类丝材的牌号、规格应符合表1的规定。表1牌号、规格和用途牌号直径mm长度mmUL1000.050,0.075,0.10
4、0,0.150,0.200,0.250,0.300,0.380,0.400LAUAL200AUAL300d2产品标记产品标记按照单位代号、镀层种类代号、基层材料代号、镀金层厚度的顺序表示。标记示例如下:示例1:用镀层种类为镀金层(Au).基体材料为高纯铝线(Al)、镀金层厚度为100nnI制造的线材标记为:AUAL1005技术要求51化学成分丝材的化学成分应符合表2的规定。表2化学成分Odi=牌节Au%所有可测杂质总和/%Al%UL050.030.01余量AUALlO20.050.01余量AUAL15NO.08W0.01余量52外形尺寸及其允许偏差5.2.1丝材的直径允许偏差应符合表3的规定表
5、3直径允许偏差直径mm允许偏差mm0.050+0.00040.00120.075+0.0004-0.00120.100+0.00080.00200.150+0.00080.00200.200+0.00080.00200.250+0.00080.00200.300+0.00100.00250.380+0.00100.00250.400+0.00100.00255.2.2镀金层厚度允许偏差应符合表4的规定表4镀金层厚度允许偏差牌号镀金层厚度nm允许偏差nmAUAL10010010AUAL20020010AUAL300300105.2.3单轴丝材长度允许偏差为1%。5?力学性能丝材的力学性能应符合表
6、5的规定。表5力学性能类型直径mm拉断力F/gf伸长率/%最小最大波动范围最小最大波动范围UL050.0508.025.01.504.014.02.00.07520.040.02.04.014.02.00.10035.070.02.05.016.02.00.15080.0120.02.08.020.02.00.200140.0210.02.08.025.02.500.250210.0300.03.010.030.03.00.300300.0420.03.010.030.03.00.380500.0700.03.010.030.03.00.400550.0750.03.010.030.03.0A
7、UALlO0.0508.025.01.505.014.02.00.07520.040.02.05.014.02.00.10035.070.02.05.016.02.00.15080.0120.02.08.020.02.00.200140.0210.02.08.025.02.500.250210.0300.03.010.030.03.00.300300.0420.03.010.030.03.00.380500.0700.03.010.030.03.00.400550.0750.03.010.030.03.0AUAL150.0508.025.01.505.514.02.00.07520.040.0
8、2.05.514.02.00.10035.070.02.05.516.02.00.15080.0120.02.08.020.02.00.200140.0210.02.08.025.02.500.250210.0300.03.010.030.03.00.300300.0420.03.010.030.03.00.380500.0700.03.010.030.03.00.400550.0750.03.012.030.03.0注:拉断力和伸长率应在表5规定的最小值和最大值的区间内进行选择,波动范围指同批次产品中拉断力和伸长率的变化范围。54工艺性能丝材由轴上放开时应无明显卷曲,允许有不降低其使用功能的
9、轻微卷曲,也可由供需双方协商解决,丝材应无轴向扭曲。55绕丝和放丝1 .5.1放丝将塑料盒整齐的排在纸箱内,盒与箱之间加垫整齐的海绵或泡沫塞紧,确保丝材不能从盒内松脱。2 .5.2绕丝丝材应绕在规定的线轴上,单层缠绕或多层交叉复绕,单轴长度和绕丝方式应符合需方要求。绕丝的始端和末端应明显标出,丝材的两端用彩色胶带贴紧,需方无特殊要求时,绿色为使用始端。5 6表面质量丝材表面应清洁,无沾污,无超过自身直径5%的刻痕、凹坑、划痕、裂纹、凸起和其他缺陷。6试验方法6 1化学成分丝材化学成分的分析方法按GB/T51217996规定执行或采用具有等效的其他方法。6.1.1铝元素分析6.1.2金元素分析6
10、2外形尺寸及允许偏差6.2.1 丝材的直径及允许偏差测量按GB/T15077规定执行或采用其他等效的非接触法。6.2.2 丝材镀金层厚度按GB/T17722执行或采用其他等效的非接触法。(做一个计算公式)A1力学性能丝材的力学性能测试按GB/T10573执行,试验条件为试样标距为100nInb拉伸速度为IOmin/min。64工艺性能丝材的卷曲和扭曲试验按GB/T8750附录C执行。65绕丝和放丝1 .5.1放丝放税要求按照试验方法GB/T8750附录D执行绕丝要求采用目视检测。6 6表面质量丝材的表面质量采用目视检验。7检验规则7 1检查与验收7.1.1丝材应由供方或第三方进行检验,保证产品
11、质量符合本文件及订货单(或合同)的规定。7.1.2需方应对收到的产品按本文件及订货单(或合同)的规定进行检验,如检验结果与本文件及订货单(或合同)的规定不符时,应以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。属于表面质量及尺寸偏差的异议,应在收到产品之日起一个月内提出;其他质量异议,应在收到产品三个月内提出。如需仲裁,仲裁试样应由供需双方共同进行。72组批丝材应成批提交检验,每批由同一炉号、同一规格的产品组成。73检验项目每批丝材应进行化学成分、外形尺寸及其允许偏差、力学性能、工艺性能、绕丝和放丝、表面质量等项目检验。如果需方有其他特殊要求,可由供需双方协商一致解决。74取样丝材的取样应符合表6的
12、规定。表6取样检验项目取样规定要求章节号试验方法章节号化学方法炉号取样5.16.1外形尺寸及其允许偏差取该批次首轴和末轴5.26.2力学性能轴数隰(不少于2轴)取样,每轴取3个试样进行。5.36.3工艺性能5.46.4绕丝和放丝5.56.5表面质量5.66.68标志、包装、运输贮存和质量证明书91标志1.1.1 在检验合格产品包装箱上应作如下标志:a)制造公司名称;b)其他需方所要求的项目1.1.2 塑料盒上标签应有如下内容:a)产品名称;b)型号、规格;c)单轴长度;d)力学性能;e)始端粘贴胶带颜色;f)制造公司名称;g)生产日期;h)其他。1.1.3 外包装箱上要求标明“易碎物品”、“防
13、潮”和“向上”标志,以保证线轴轴向在运输过程中保持水平方向。A2包装8 .2.1内包装要求a)线轴放入塑料盒内不能松动;b)塑料包装盒要有一定的强度,并有防尘的作用。9 .2.2外包装要求将塑料盒整齐的排在纸箱内,盒与箱之间加垫整齐的海绵或泡沫塞紧,确保丝材不能从盒内松脱。aa运输严禁同化学活性物质及潮湿性材料混装在一起。搬运和装卸时应注意轻拿轻放,以防产品碰伤。24贮存产品应存贮在通风、干燥环境中。25质量证明书每批产品应附有质量证明书,应包括以下内容:a)制造公司名称:b)产品名称;c)技术标准编号;d)产品规格和生产批号;e)单轴长度及总长度;f)始、末端标识规定;g)力学性能(拉断力和伸长率);h)检验员印章;i)其他需方要求的项目。9订货单(或合同)内容订购本文件所列产品(或合同)内应包括下列内容:a)产品名称;b)牌号;c)尺寸规格;d)尺寸允许偏差;e)重量;f)本文件编号;g)其他;