《FPC沉铜工艺规程.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《FPC沉铜工艺规程.docx（23页珍藏版）》请在课桌文档上搜索。
1、龙漆柔辘史极限公司1.oNGXINDongGuan1.ong.FPC.XinCaJjtc1.弧铜工作指示内部受控文件严禁私自以任何形式全部或部分复制文件编号：1.X-MEI-TD-OO版次：A.0婀:姓名部门职位签名日期拟制陶兴平工艺部主管审核陶兴平工艺部主管侯向辉制造部主管陶兴平品质部主管批准李松海总经办懂事修嫄历版次修改缘由文件名作成日期修改人A.0新规作成1.X-MEI-TD-OOi陶兴平文件编号：1.X-MEl-TD-Ool2/14版次：A.0页码:编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页3/14生效日2011-04-01名称沈惆工作指示1.目的：1.1 本规程确立FPC
2、沉铜工艺，满意其生产品质要求；1.2 本规程为生产、品质、工艺等有关人员供应操作和监控的依据。2 .适用范围：适用于本公司沉铜的作业限制。3 .运用的材料、设备、工具：沉铜系列药水、沉铜手动线、挂篮等。4 .M三:在不外加电流的状况下，通过药液的自催化（把和铜离子作为催化剂）辄化还原反应，使铜尚子析镀在经过活化处理的孔壁和铜箱表面上的过程。5 .作业方法：5.1 作业打算：（详见后面“7.1生产前打算”）5.2 各药水（缸）的作用：PI调整：微蚀孔壁表面以增加后面的化学铜附着；通过增加催化剂吸附促进铜覆盖率的提高用于活化与沉铜前清洁板面污染。除油/按孔：除去板面污迹，同时调整孔壁电荷分布，有利
3、于Pd的吸咐；蚀：粗化铜面与除去铜面氧化物,使沉铜附着良好；逆水洗：洗净产品药液，避开污染下一个药水缸；浸：用于活化前，使活化时铜面药液吸附匀称与削减杂质带入活化缸；化：使胶体Pd匀称地附在孔壁，引发化学沉铜初始反应；速：除去Pd外层包围的物庾，露出有催化活性的Pd核，引发后续反应；沉铜：在催化剂作用下，铜络合物与还原剂产生班化还原反应，沉积出单质铜的过程;酸浸：去除铜面上氧化物的过程，使电镀铜与沉积铜结合良好。作业指导书编号1.X-MEI-TD-OOi版次A.0页4/14生效日2011-04-01名称圾辆工作指示5.3 作业流程:工艺（作业）流程:PI调整T双水洗一除油/整孔T双水洗T微蚀T
4、双水洗T预浸T活化T双水洗f加速T双水洗f沉铜f双水洗f浸酸工艺流程操作示意图:除油M水洗微位水洗9（浸活化水洗作业指导书编号1.X-MEI-TD-OOi版次A.0页5/14生效日2011-04-01名沆铜工作指示称5.4作业分数:槽名药水成份参数设定操作时问温度滴液时间搅拌方式分析频率限制范圃最佳值SSPI调整piFKOH30-50%30-4Og/1.40%35g1.240-42O405C153r整孔整孔剂0.1N240-42O555C153雅r微蚀SPS40-80g/160gl60-120305C153打气4H2SO43-5%4%Cu2+80%加速加速剂9-11%10%60-90282C1
5、53蜜臂CU1.4-1.8g/11.6l720-96O28-32oC153涵NaOH8-12l10lHCHO4-7g/16g/1市水缸体（升）160*26030室温10-20无编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页6/14生效日2011-04-01名称沆铜工作指示5.5各缸开缸步舞和操作条件：缸名开缸步骤操作条件PI调整1、加入1/2缸体积的纯水；2、加入YX-HYQ-2006A401.,KOH：4KG搅拌匀称；3、补加纯水至标准液位，搅拌匀称；4、打开加热器，加热并恒温在3545t.1、温度：40r(35-45iC)2、工艺配备：摇摆、加热、过渡3、后处理：二级溢流水整孔1、
6、加入1/2缸体积的纯水；2、加入YXHYQ2005IO1.搅拌匀称；3、补加纯水至标准液位，搅拌匀称；4、打开加热器，加热井恒温在50-60C。1、温度：55C(5060P)2、工艺配备：摇摆、加热、过渡3、后处理：二级逆流水洗，其中第一级不打开气,其次级开打气微蚀1、加入2/3缸体积的自来水；2、缓慢加入41.H2SO/工业级)边加边搅拌；3、待溶液冷却至40C以下时，加入8kgNaPS搅拌匀称；4、补加纯水至标准液位。1、温度：常温2、工艺配备：摇摆、打气3、后处理：二级打气水洗预浸1、加入1/2缸体积的纯水；2、加入HYQ-1715Kg,fttt31.使之完全溶解搅拌匀称；3、加纯水到标
7、准液位。幺隼备：B活化1、加入87%缸体积的纯水；2、11HC1.31.3、加入调浸赴：15Kg使之完全溶液，搅拌匀称；1、温度：35t(32-38P)2、工艺配备：摇摆、过滤3、后处理：二级溢流水洗(不打气)4、加入活化剂31.,搅拌匀称；5、开启加热器并恒温在3238*C加速1、加入1/2缸体积的纯水；2、边搅拌边加入HYQ“009AIo1.搅拌匀称；3、加入纯水至标准液位，室温下即可生产。1、温度：28P(2630l)2、工艺配备：摇摆、过滤3、后处理：二级逆流水洗.(不打气)沉铜1、加入1/2缸体积的纯水，开启微空气搅拌；2、加入HYQ-900MIo1.搅拌匀称；3、加入HYQ-900
8、AlO1.搅拌匀称；4、加入HYQ-900BlO1.搅拌匀称；5、加入纯水至标准液位；6、开启加热器，加热至3(FC,方可运用。1、温度：30(28-32r)2、工艺配备：摇摆、打气、加热、过滤3、后处理：打气、水洗编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页7/14生效日2011-04-01名称双事!工作指示5.6开缸与药水津加要求:体积限制要求开缸用量添加要求换缸要求PII1001.YX-HYQ-2006A:30-50%KOH:30g40g1.YX-HYQ-2006A:401.KOH:4kg霰脑分析每生产3000W全缸更换整a1001.OH:0.08-0.12NYX-HYQ-20
9、05:8%-12%YX-HYQ-2005:IO1.监服楙,分析每生产2000m全虹更换I1001.SPS:40-80g1.SPS：8kg麟就分析瓶H2SO4：3%-5%H2SO4:41.1001.S.G（比重）HYQ-1007:230-250g1.PD-130:20KGHC1.:31.wr每生产2000m,或药液变为蓝色或绿色，全缸更换I1001.S.G（比重）HYQ-1007:230-270g/l预浸盐：15KG依据每班分透速补加；每生产100产米板加300-500，落升HYQ-1008;Cu22000PPM时需换缸杷浓度HYQ-1008:3-5%盐酸：21.活化剂：31.加速1001.HY
10、Q-1009：9-11%HYQ-1009:101.侬据年班分儒果环加；每生产2000H时需簧更普1001.Cu241.4-1.8g/1.NaOH:8-12g1.HYQ-900A=101.HYQ-900B:101.三tr每生产1m，添加HYQ-900AB各0.25-0.321.HYQ-900M为湎制，生产中不补加。源赢前HCHO:4-7g1.HYQ-900M:101.编号1.X-MEl-TD-Ool作业指导书版次AQ页8/14线日2011-04-01名称双事!工作指示6 .罐护和保养：6.1 槽液维护:缸名保养频率保养项目保养方法险收保养标准PI调整一次/每班周边环境清扫、清洁、整理地面不积水，
11、杂物等清扫干净，生产板与其它物品摆放整齐一次/每班后水洗缸用洗缸扫把清洗干净更换用清水清洗棉芯缸沿、缸壁无污迹，棉芯无杂物等一次/每周过滤棉芯一次/每周过滤棉芯更换瓶的加芯（再换W用清干净、没有杂物残留每生产3000济新开缸换缸1、排空，用洗缸扫把清洗2、按开缸步骤进行开缸缸沿、缸壁、过滤泵无污迹除油一次/每班周边环境清扫、清洁、整理地面不积水，杂物等清扫干冷，生产板与其它物M投放整齐一次/每班后水洗缸后水洗缸用扫把清洗干净一次/每周过滤棉芯过滤棉芯用清水冲洗干净一次/每周过滤棉芯1、更换新的棉芯2、用清水浸泡24小时每生产2000m,换缸1、排空用扫把消洗三按开缸步骤进行开打微蚀一次/每班后
12、水洗缸用清水冲洗干净缸沿、缸壁无污迹(CU2,25g1.)换缸1、用备用桶保留1/5母液2、排空缸液，用水冲洗干净预浸一次/每班后水洗缸用清水冲洗干净2000m,或药液变为蓝色或绿色换缸排空缸液，用水冲洗干净一次/每周过滤棉芯更换过滤棉芯编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页9/14生效日2011-04-01名称抵铜工作指示缸名保养频率保养项目保养方法验收保养标准活化一次/每班后水洗缸用洗缸扫把清洗干净干净、没有杂物残留一次/每周过滤棉芯更换在预浸中浸泡30min后更换一次/每月倒缸消除缸中杂质,并用洗缸扫把清洗干净,倒缸前用预浸液清洗备用槽,倒缸过程中活化液勿遇水；药水抽回时
13、要先用预浸液清洗。Cu22000PPM换缸排空缸液，用洗缸扫把冲洗干净（每月联系供应商外发分析次）加速一次/每班后水洗缸用洗缸扫把清洗干净缸沿缸壁无污迹2000mji换缸清洗干净缸底、缸沿、缸壁与各管道一次/每周过滤棉芯更换更换新的棉芯用清水浸泡24小时沉铜二次/每周过滤棉芯更换新的棉芯，并用纯水浸泡2-4小时干净、没有杂物残留二次/每周移槽除铜（倒缸）详见下页“沉铜缸倒缸与清洗方法”缸沿、缸壁、过滤泵、管道无铜结晶、杂物（移槽时在保养记录表匕注明几号铜缸）一次/每班后水洗缸用洗缸扫把清洗干净缸沿、缸壁无污迹换缸沉铜每生产5000mi时,整缸更换；按开缸步骤进行酸葭二次/每班换柠椽酸溶液每班换
14、两次柠檬酸溶液（每四小时更换一次）；柠檬酸按l%-2%的浓度配制干净、没有杂物残留编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页10/14生效日2011-04-01名称双寓!工作指示I16.2 工艺雉护：水洗缸清洗：（沉钢线水洗缸每班更换一次）清洗方法：放干原水缸之水，用干净的扫把清洗干净缸壁与缸底的水垢等脏污，再用清水细致冲洗二遍，然后注入水至液位。过滤棉芯更换：更换方法：关闭过滤泵与泵进口出口阀门；打开滤缸,取出旧棉芯,换上已用DI水浸润的新棉芯；开泵进口出口阀门与过滤泵,视察是否漏液,否则重新装配。热电偶与液位探头消洗：（每周一次）清洗方法:将探头拿高液面,检查是否有污垢附着,有
15、则用干净布擦拭干净。活化缸倒缸作业：将活化液倒出原缸，将缸体冏壁清洁干净，纯水洗净后用预浸液擦洗干净，再将活化液过滤倒入，分析调整，（严禁将自来水与其它有机物或重金属物质带入活化缸中，防止污染活化缸，严禁活化打气和猛烈搅拌且每月用进行倒缸作业）沉铜缸倒缸与清洗方法：沉铜缸正常生产应每周倒缸2次.1将打气、过滤、加热关掉，用过滤泵（与过滤袋）将沉铜液抽到干净的备用缸（清洗干净，保证缸壁、缸底无铜粉、脏物）内，开循环过滤,分析药液浓度并调整药液至液位用于生产；-2用水清洗缸体后加入2/3槽体积的旧微蚀液，并补足液位进行溶钢，同时开启过滤泵；.3待将缸内壁的残铜溶解后，将微蚀液排走，加满水后过滤彻底
16、清洗缸体、过滤泵、副槽.4再将4KgNaoH溶解后加入缸中，打气搅拌15分钟后，并排掉；用纯水冲洗3-4次,彻底清洗干冷铜缸和过滤泵后待用；.5开启打气，将沉铜液用棉芯过滤抽回药水缸，开启过潴。（抽液前用Dl水将抽水泵清洗干净）作业指导书编号1.X-MEI-TD-OOl版次A.0页11/14生效日2011-04-01名称弧铜工作指示各药水缸的保养按各IT要求分别进行；倒槽时抽水泵内须要装过滤棉芯。7 .生产限制：7.1生产前打算：检杳项目管道系统缸体化学药水渗漏进出水开关打气系统药液排出阀关闭液位预热/冷却清洁程度按化验单补加注：进产品前药缸开泵循环5分钟以上,视察限制面板上温度是否到达操作的
17、温度,否则需接若预热。先检看各个药水槽的液位是否正常（如有液位不够的需补足液位），然后开动全部过滤泵后，再开动全部加热器；通知化验室分析调整药水含量；检查各药水缸温度，各缸液实测温度与设定值允许偏差2C;检查全部过滤泵功能（过滤泵不允许有漏液、漏气、空转、停转等问题），并定时更换潴芯，如发觉过滤泵流量不足时，应马上更换滤芯；检查各缸的打气，打气应适盘、匀称；但活化槽后的水洗不要用空气搅拌；检杳振动和摇摆是否正常；取样分析各槽液并补充到标准值（取样时必需留意液位是否正常），各液缸液位偏低则按各自方法补加与调整，偏高则视详细状况确定是否排出（药水液位偏高时需通知生产主管或工艺处理方案）；但预浸缸液
18、位肯定要略高于活化缸；进行拖缸作业（检查拖缸板是否足够，拖缸板每次运用前需去除铜层方可运用）；完成以上工作后便可生产（留意:祝招缸不能关闭打气、过渡案）7.1 操作限制：7.1.1.1 .1生产前要细致核对生产板与流程卡的型号、数收、工艺参数等是否一样，如方疑点，立刻找组K或主管处理；生产过程必需轻拿轻放沉铜篮，避开擦花和折皱生产板;作业指导书编号1.X-MEI-TD-OOi版次A.0页12/14生效02011-04-01名称沈!工作指示.2上板时要戴干净的防静电手套（或白棉手套），不能刮花板面、桎板、裙被，板子的高度不能超过液面，插完板后将沉铜篮置放在待沉铜区域.匕板前要将方板的位置匕方用铜
19、丝固定，防止打气将板吹起；插板时，最多只能停放一挂板，防止在空气中过久使板面受到污染或氧化；沉铜蓝硝铜后，必须要保证沉铜蓝干燥、外观无发黑、无异物等影响品质因素才能运用；如有问题，需与时通知品质、工艺人员进行评估确定；7.2.1.3 心板时必需戴胶手套，股手套必需每天更换一次；（若作业过程中发觉板面手印问题与时更换胶手套），上下板不行取拿其它东西,以防污染板面；7.2.1.4 沉完铜的产品如不能与时镀铜可先泡在1-2%柠檬酸中（每天更换一次），详细作业如下：从挂篮中取出板子，每次不超过4张放入1-2%柠檬酸的水做中，板子应当靠盆子的边框放好，及放整齐，口板时轻拿轻放；沉铜出来的板楼板电镀前的存
20、放时间不允许超过4小时，超过4小时需烘干，并用绿胶片逐张隔开存放在温湿度相宜的车间下次再镀；7.2.1.5 化验开单后须要添加药水或换缸时，必需按要求执行，每班加药前要核对化验室供应的化验单上注名加药水的名称、数过，对于已超出工艺限制范围的必需在在接到化验单后必需马上停止作业，15分钟内添加完毕，对于未超出工艺限制范困而化验单匕注名须要添加的必需在1小时内添加完毕，沉铜缸无论化验结果是否在工艺限制他围内都必需马上加药，生产须指定专人（或组长）力口药，添加时由化验员、IPQC与现场技术人员现场确认，并做好记录,添加药水后必命在化验单上注明监控人与添加时间；各药水缸有板时不能加药，添加固体药品时，
21、在缸外溶解、混和匀称后再加入，加料时要开打气和过泌，且沉铜缸的各种药水在添加时，每种每次添加量不超过11.,若有超过，则须分次添加；7.2.1.6 生产现场的沉铜蓝待沉桐板、已沉桐板等必需摆放蟋齐，标识清晰。假如发觉沉铜篮有造成板面棉花等影响品质的不良现象时,停止运用并马上通知工序主管与品质、工艺人员解决；7.2.1.7 生产过程中如遇停电、停水、或放入水槽中天车故障等故障时，应首先检查微蚀缸中有无板子，如有，与时取出，清洗烘T待返工；将各药水槽中的板取出后分别做好标识区分；7.2.1.8 停产时关掉加热、过滤（沉CU缸除外）、打气（沉CU缸除外）、水阀、振动等;7.2.1.9 停打气超过一小
22、时，需通知工艺部，对沉铜缸PH值进行调整，再次生产时将PH值调回，并做倒槽后再投入生产；.10当生产开线或停产超过1小时，必需通知化验室对沉铜药水进行化验，与时添加药水,同时进行拖缸，以提高药水活性，拖缸板运用双面FR4无铜板拖缸，每缸拖缸板要保证尺寸为250MM*250MM的板40PN1.以上，语两个月更新一次，拖缸板不能进入作业指导书编号1.X-MEI-TD-OOi版次A.0页13/14生效02011-04-01名称沈钢工作指示.11生产加药时运用的工具（如量杯等），在运用之前须先用纯水洗干净后方可运用；.12生产过程要细致做好FPC沉铜保养记录表汰FPC沉铜检查记呆表、FPC沉铜药水添加
23、记录表等多项工作记录，要求字迹工整，填写完整，不允许乱涂乱划。生产停工规则.1关掉全部药水槽中的加热器；.2关掉水洗缸的入水阀门与打气阀门；.3保持沉铜缸有打气与过滤。8 .品质限制：8.2 外观检查：沉铜出来的板应做好自检自控，板面颜色应为匀称粉红色，孔内无铜以与孔粗等问题与时报主管或工艺人员处理。每缸板必需检查板面是否出现气化、皴折、挂篮印与铜粉等；8.3 背光检杳：每一缸板沉出来后剪4个切片用40倍显微镜视察有无孔铜不R,耍求无空洞；8.4 粗化速率限制：每天由化验室测粗化速率一次，限制粗化深度为05lm;8.5 沉铜速率限制：每天由化验室测沉铜速率一次，限制沉铜厚度为0308m.9 .
24、留意板：9.2 平安留意事项：加药,倒缸等接触化学药品的操作时需戴戴好防护面具、耐酸碱手套，穿好水鞋，严格按规定操作。各种化学药品对人体都彳不同的危害，故添加要非常当心，如不慎伤与皮肤或眼瞄，耍用适量的水洗冲洗害处至少15分钟，严岐者马上送医院救治。加H2SO4时肯定要级慢加入（沿缸壁添加），防止一次加入最过多,槽液升温过快激起而沾与身体,如药水不当心沾与皮肤,应立刻用大肽自来水冲洗干净.检查液温、测量比重、加药等要留意天车走向，同时当心不要被灼伤皮肤“无论天车运行与否，严禁任何人员在缸上行走。设备部修理时要关闭总电源，挂修理牌。编1.X-MEI-TD-001作业指导书号版次A.0页14/14
25、生效02011-04-01名称沈制工作指示各水洗缸液位应高于药水缸，生产时双逆水洗进水阀门保持半开状态；预浸与活化缸不生产时应遮盖,防止杂质进入缸内污染药液；生产板生产前应检查,不应有油污与胶异物；生产中随时检杳设备是否运转正常，发觉异样马上停止作业并报告相应管理者解决；活化槽的补充.1由于活化剂干脆与水混合时会发生分解，所以如要补充水位时，应当用新配制的预浸剂溶液补加，而补充液位每次不能多于20升；.2由于活化剂与大垠空气接触时亦会发生分解，所以要当心以下事项以免带入太多的空气入缸中。补充大量液体时，要分数次从缸壁渐渐溜入；留意过滤系统有没有渗漏，特殊在更换滤芯或喉管后；10 .席件：沉铜保养记录表沉钢检查记录表沉铜线药水添加记录表
