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1、BSGS-SIH4操作手册,文件总括,本文件针对BSGS-SIH4控制器、系统功能、系统图、更换钢瓶、紧急切断程序、及停电和泄露等突发事件应对措施做为阐述内容。,控制器簡介：硬體簡介：a.人機介面：作為人與控制器的控制與溝通介面。一方面可顯示系統目前的狀況，同時亦可接受操作人員下達的指令，作為系統運作的確認。b.PLC：整體控制的處理中心。c.電磁閥：控制氣動閥的開閉。可依需求強制開啟電磁閥d.警急遮斷鈕：系統發生異常時按此鈕關閉盤面氣動閥。e.LED 指示燈：以亮燈表示系統目前的狀態。系統正常(Normal)存量不足(Low Quantity)警示警報(Warning)停氣警報(Shutdo
2、wn)f.蜂鳴器：系統發生異常時警鳴。依警報得設定可分別傳出兩種不同的警報音訊,g.紫/紅外線火燄感知器：當感測到火災發生時作動，將訊息傳至PLC 處理。h.差壓設定開關：當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作，將訊息傳至PLC 處理。i.差壓計：顯示箱體與大氣壓之差壓。j.繼電器：依電路設計可作為控制或接點之輸出。k.電源供應器：因控制迴路所使用之電源為DC 24V，故需Power Supply 做為轉換。l.溫度開關：當感測到箱體溫度高於設定值時，將訊息傳至PLC 處理。,系統功能介紹：換裝鋼瓶Cylinder Exchange：以自動流程以及人機介面訊息的告知，防止人為的疏忽、達到管內的潔淨
3、以利鋼瓶的更換。維修吹淨Panel Purge：以自動流程以及人機介面訊息的告知，防止人為的疏忽、達到管內的潔淨以利閥件或其他組件的更換。主管路吹淨Line Purge：以自動流程以及人機介面訊息的告知，防止人為的疏忽、達到供氣主管路內的潔淨以利設備供氣前或管路移除前的準備。自動切換：利用壓力/重量的設定自動判斷切換使用側，以防止供氣的中斷。,手動模式：當設備異常時自動操作無法正常執行，或特殊狀況必須手動開啟氣動閥時，即可採用手動模式強制閥的開閉。(註：唯對此系統深入瞭解人員方可操作。且該操作側必須為IDLE 狀態下方可操作)密碼設定：防止外界人員不當的操作而造成不必要的傷害。正/負壓持壓測漏
4、：設備可自行針對管路保正壓的方式，偵測是否有洩漏情形(此階段於更換新瓶後針對鋼瓶接頭與Pigtail 銜接的測漏)。保負壓的方式(此階段於拆換舊瓶時針對鋼瓶閥是否確實關斷的偵測)。閥件動作次數記錄：設備可自行針對閥件的開閉次數做計算累計，一般氣動閥的使用壽命為開閉次數而定的，故以此功能可了解閥件壽命的概況。,BSGS 換瓶動作次數記錄：設備可自行針對更換鋼瓶的次數做計算累計，可方便查尋BSGS 的換瓶率。設備警報歷史記錄表：設備可自行記錄所發生過的警報記錄，以利查詢設備異常的發生原因。設備操作歷史記錄表：設備可自行記錄人員操作記錄，以利查詢設備是否有人員誤操作，以避免異常的發生。供氣壓/鋼瓶殘
5、量趨勢圖：以線性表示供氣壓力值以及鋼瓶殘量，便於察看供氣穩定與否以及鋼瓶的使用狀況。,壓力器與磅秤零值補正：因壓力傳輸器與磅秤的零點對應值會隨著周遭的各種因素而有所飄移，故以數值補正的方式校正顯示的壓客戶留言板：以手寫方式可直接於畫面上塗鴉便於操作人員對其他人員的告示。客戶化警報值設定：人性化的設計便於警報的需求。客戶化參數值設定：人性化的設計便於供氣壓的需求。系统图：,AV1(L/R)左/右側 警急遮斷氣動閥新奥太阳能BSGS 操作手册AV2(L/R)左/右側 高壓隔離氣動閥AV3(L/R)左/右側 低壓隔離氣動閥排放管路區域AV4(L/R)左/右側 高壓排放氣動閥AV5(L/R)左/右側
6、低壓排放氣動閥AV6 真空產生氣動閥，控制G-N2 進氣驅動真空產生器吹淨管路區域AV7(L/R)左/右側 氮氣吹淨氣動閥，控制P-N2 進入主管路壓力感測器,PT1(L/R)左/右側 鋼瓶端壓力值(一次側壓)PT2(L/R)左/右側 輸出端壓力值(二次側壓)PT3 排放管路壓力值PT4 吹淨氮氣供給壓力值與N2 高壓測漏供給壓力值,硅烷钢瓶更换步骤1.排尽特气Vent Special Gas 关闭钢瓶阀门,关闭AV3,打开真空发生器,打开AV5,从低压端排 净管路内残余气体,大致30秒.2.保负压测漏 Security vacuum waste detection 关闭AV5,AV2大概30
7、分钟,保负压测漏,看钢瓶阀是否关紧.3.前段吹扫 pre-purge 打开低压PN2,进行管路吹扫.打开AV7,打开AV4从高压端抽,边 抽边吹扫,持续大概30秒.关闭AV7,然后冲入氮气,再排净,重复大概 50100次左右,关闭AV4,AV1,4.更换钢瓶 Cylinder Exchange 关闭AV1N,打开AV7,更换钢瓶,5.排放废弃 Vent Gas 关闭AV7,打开AV1,AV4,从高压端抽净管路内气体,6.保负压测漏 Pual Positive for Waste Detection 关闭AV4,保负压测漏,大致30秒7.高压测漏 High-pressure Waste Dete
8、ction 关闭AV1,打开AV7,高压PN2,AV2N,冲入氮气,压力为实气的1.1.倍关闭AV2N,AV7,保压至少1小时8.后段吹扫 Post purge打开AV4,AV1,AV7,从高压端抽净气体,打开AV1N,AV7,冲入低压PN2,进行吹扫,大概50次9.工艺气体吹扫 Process Gas Purge 关闭AV7,打开AV4,抽净氮气,关闭AV4,打开钢瓶阀门,冲入工艺气体,然后关闭钢瓶阀门,保压1小时,看看钢瓶阀门是否关闭.实气排放时从低压端排放,打开AV2,AV5排放.10.系统准备就绪 System standby 将系统设为Standby状态,随时自动切换.11.系统供气
9、 System Supply,紧急切断程序：在正常供氣中，偶爾會發生一些緊急事故，例如火警、地震、氣體洩漏或壓力異常等等。此時應該立即停止危險性氣體繼續供應，以避免災害擴大。因此；本系統設計有現場/遠距緊急關斷控制功能(Local/Remote Emergency Shut-Off)。現場緊急關斷(Local ESO)當緊急狀況發生時，操作人員若正在供氣設備附近，可就近按下控制器 上的紅色緊急關斷按鈕開關。其為壓按鎖定順旋回復式設計，並設有誤觸保 護環。按下此按鈕後，系統內所有的控制閥將立即關閉，裝置於鋼瓶上的氣瓶閥關斷裝置也將立刻關閉。此時畫面及燈號將顯示停止供氣訊息(Shutdown)。此
10、一緊急關斷操作邏輯為第一優先控制，無論系統正處於任何模式均可 立即關閉系統。當狀況解除後，必須先將該緊急關斷按鈕開關依順時鐘方向轉動，令其 彈回原來位置再按下畫面右下角的警報復歸鍵將系統恢復至待命模式。,遠距緊急關斷(Remote ESO)當緊急狀況發生時，可能並無操作人員在供氣設備附近，或無法接近設 備，本系統並有遠距關斷控制功能。利用乾式接點(Dry Contact)的電氣迴路 與遠端監控系統連結。其對於系統的關斷作業，與控制邏輯皆與現場緊急關斷開關一致。系統復歸時亦應先將遠端輸出訊號恢復後，才能將本系統復歸至待命狀態。緊急關斷啟動 系統將自動關閉所有的電磁閥，氣動閥與鋼瓶閥自動關閉器因電
11、磁閥的關 閉，無 I.A 的供應而關閉。此時系統呈封閉狀態，無鋼瓶的供應與製程氣體的輸出。,緊急關斷復歸 1.一般復歸：檢查鋼瓶出口壓力是否正常，檢查二次側製程供氣壓是否正確。若 PT 讀值皆與緊急關斷啟動前之壓力值相符，則打開鋼瓶閥自動關 閉器，以手動方式旋開鋼瓶閥，由系統之切換模式點選欲供氣側，即可 恢復製程氣體的供應。或以手動強制開啟閥件達到供氣效果(此方式危險性較高，非必要時勿以此方式操作)。2.特殊復歸：重新作一次換裝鋼瓶程序。此方式是用在供應壓力有異、盤面或管路疑似有漏、鋼瓶供應壓力不足、系統目前的條件無法以切換模式直接供氣等。,異常狀況與處置方式 注意事項：1.狀況處置僅限於受過
12、設備訓練以及系統危險性之人員方可執行。2.狀況處置人員需備齊個人防護裝備方可執行。3.控制系統維修時需關閉電力系統，以防止人員觸電之可能以及避免控制系統短路造成更大損壞。4.欲維修閥件時務必關閉鋼瓶閥，並且將盤面吹淨。此動作可大幅降低施工時 的誤碰觸造成零件的鬆脫而導致氣體的外洩，造成無法彌補的傷害。5.維修過程中若中途有不明確的步驟應立即停止，不可，以大概或可能的判斷 而繼續執行。可能因一個步驟的疏忽而造成無法預料的損失與傷亡。,停電之應變與復歸：a.預警停電 短期（1 日內）應變措施：1 檢視設備供氣系統是否正常 2 記錄設備之顯示數據以及參數設定值 3 將 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓
13、端依序關閉至高壓端）4 關閉 I.A 驅動氣體 5 關閉無熔絲開關（NFB）6 中斷完畢 復歸：1 檢視監控系統與毒氣偵測器之讀值是否正常 2 開啟無熔絲開關（NFB）3 進入主畫面與參數設定畫面檢視數據是否與記錄相對應 4 開啟 I.A 驅動氣體,5 將 BSGS 鋼瓶閥至出口閥（高壓端依序開啟至低壓端）6 檢視顯示數據是否正常 7 確認製程供應正常 8 復歸完畢 中期（1 週內）應變措施：1 檢視設備供氣系統是否正常 2 記錄設備之顯示數據以及參數設定 3 關閉鋼瓶閥 4 將 BSGS 盤面至 VMB 或機台之主管路吹淨 5 導入 7590 PSI 之 P-N2 至管路中 6 將 BSGS
14、 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高壓端）7 記錄設備 P-N2 之壓力值 8 關閉 I.A 驅動氣體,9 關閉無熔絲開關（NFB）10 中斷完畢 復歸：1 檢視監控系統與毒氣偵測器之讀值是否正常 2 開啟無熔絲開關（NFB）3 開啟 I.A 驅動氣體 4 進入主畫面畫面檢視 P-N2 之壓力值是否與記錄相對應 5 將 BSGS 盤面至 VMB 或機台之主管路吹淨 6 逐步將 BSGS 盤面至 VMB 或機台之主管路抽真空 7 檢視管路壓力值是否達-10 以下 8 將 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高壓端）9 開啟鋼瓶閥 10 檢測鋼瓶壓力是否與中斷前之記錄壓力是否相符 11 進入
15、參數設定畫面檢視數據是否與記錄相對應,12 由鋼瓶閥至調壓閥依序 13 適當調整調壓閥至所需之製程壓力 14 由調壓閥依序開啟至 BSGS 出口閥 15 檢視顯示數據是否正常 16 確認製程供應正常 17 復歸完畢 長期（1 週以上）應變措施：1 檢視設備供氣系統是否正常 2 記錄設備之顯示數據以及參數設定值 3 關閉鋼瓶閥 4 將 BSGS 盤面至 VMB 或機台之主管路吹淨 5 利用換裝鋼瓶模式將鋼瓶卸下並將鋼瓶安置至儲藏櫃 6 將鋼瓶接頭封住 7 導入 7590 PSI 之 P-N2 至管路中,8 將 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高壓端）9 記錄設備 P-N2 之壓力值 1
16、0 關閉 I.A 驅動氣體 11 關閉無熔絲開關（NFB）12 中斷完畢 復歸 1 檢視監控系統與毒氣偵測器之讀值是否正常 2 開啟無熔絲開關（NFB）3 開啟 I.A 驅動氣體 4 進入主畫面畫面檢視 P-N2 之壓力值是否與記錄相對應 5 將 BSGS 盤面至 VMB 或機台之主管路吹淨 6 將鋼瓶安裝並將鋼瓶適當固定 7 利用 H-N2 作鋼瓶閥與鋼瓶接頭之測漏 8 開啟鋼瓶閥 9 檢測鋼瓶壓力是否與中斷前之記錄壓力是否相符,10 利用換裝鋼瓶模式將盤面吹淨管路測漏盤面管路純化 11 逐步將 BSGS 出口閥至VMB 或機台之主管路抽真空 12 檢視管路壓力值是否達-10 以下 13 將
17、 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高壓端）14 BSGS 出口閥至VMB 或機台之主管路以製程氣體純 化 15 逐步將 BSGS 出口閥至VMB 或機台之主管路抽真空 16 檢視管路壓力值是否達-10 以下 17 將 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高壓端）18 進入參數設定畫面檢視數據是否與記錄相對應 19 由鋼瓶閥至調壓閥依序開啟 20 適當調整調壓閥至所需之製程壓力 21 由調壓閥依序開啟至氣瓶櫃出口閥 22 檢視顯示數據是否正常,23 確認製程供應正常 24 復歸完畢 b.非預警停電 1 檢視設備系統是否正常 2 將 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高壓端
18、）3 關閉 I.A 驅動氣體 4 關閉無熔絲開關（NFB）5 中斷完畢 復歸 1 檢視監控系統與毒氣偵測器之讀值是否正常 2 開啟無熔絲開關（NFB）3 檢查 PLC、控制原件、控制線路、各偵測氣是否正常 4 開啟 I.A 驅動氣體 5 將 BSGS 鋼瓶閥至出口閥（高壓端依序開啟至低壓端）6 檢視顯示數據是否正常 7 確認製程供應正常 8 復歸完畢,毒氣外洩之應變與復歸：應變措施：1 現場人員之疏散 2 經由監控或現場進行氣瓶櫃的緊急遮斷（包括鋼瓶閥之遮斷）3 確認洩漏之位置 4 迅速將製程氣體管路抽真空以降低洩漏之量與濃度 5 以 P-N2 將管路之殘留製程氣體排除吹淨 6 檢查洩漏之原因
19、 7 判斷洩漏之嚴重性 8 檢查人員之傷亡與設備損壞之程度 9 事後處理（如管路之更新、洩漏點之修復、系統之修復與測試）系统恢复 1 檢查設備功能是否正常,2 檢查偵測器功能是否正常（如壓力傳輸器、火燄感知器等等）3 閥件功能是否無失效之狀況 4 閥件、管路之確實吹淨 5 將 BSGS 盤面至 VMB 或機台之主管路吹淨 6 利用 H-N2 作鋼瓶閥與鋼瓶接頭之測漏 7 利用換裝鋼瓶模式將盤面吹淨、管路測漏、盤面管 路純化 8 逐步將 BSGS 出口閥至VMB 或機台之主管路抽真空 9 檢視管路壓力值是否達-10 以下 10 將 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高 壓端）11 BSGS 出口閥至VMB 或機台之主管路以製程氣體純 化,12 逐步將 BSGS 出口閥至VMB 或機台之主管路抽真 空 13 檢視管路壓力值是否達-10 以下 14 將 BSGS 出口閥至鋼瓶閥（低壓端依序關閉至高壓端）15 進入參數設定畫面檢視數據是否適當 16 由鋼瓶閥至調壓閥依序開啟 17 適當調整調壓閥至所需之製程壓力 18 由調壓閥依序開啟至氣瓶櫃出口閥 19 檢視顯示數據是否正常 20 確認製程供應正常 21 復歸完畢,
