中环领先半导体材料有限公司集成电路用大直径半导体硅片项目环境影响报告书.docx

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1、目录1 . 11.1 项目由来11.2 项目特点113工作过程31.4 分析判定相关情况 41.5 关注的主要环境问题211.6 报告书的主要结论212 .总则2221编制依据2222评价因子与评价标准262.3 评价工作等级和评价重点 342.4 评价范围及环境敏感区4625相关规划及批复要求5026环境功能区划583 .现有项目回顾593.3 现有项目概况593.4 现有项目主要工程内容 603.5 主要原辅料使用情况633.6 主要生产设备情况643.7 生产工艺流程及产污环节673.8 现有项目环保措施及三废排放情况733.9 环评批复落实情况923.10 现有项目污染物排放情况 95

2、3.11 存在的问题及“以新带老”措施964,本项目概况与工程分析991.1 工程概况991.2 生产工艺流程及产污环节分析1171.3 主要原辅材料及设备 1361.4 环境风险识别及事故情形分析1551.5 物料平衡及水平衡 1621.6 污染源及其控制措施 1681.7 污染物“三本账”2041.8 清洁生产分析2085 .环境现状调查与评价2125.1 自然环境现状调查与评价 2125.2 环境质量现状调查与评价2162275.3 区域污染源调查6 .环境影响预测与评价2296.1 大气环境影响评价 2296.2 地表水环境影响评价2816.3 固体废物环境影响评价 2836.4 噪声

3、环境影响评价2866.5 土壤环境影响评价2886.6 环境风险分析 2896.7 生态影响分析 3016.8 施工期环境影响分析3027 .环境保护措施及其可行性论证3057.1 废气防治措施评述 3057.2 废水防治措施评述3157.3 固体废物防治措施评述 3257.4 噪声防治措施评述32875地下水、土壤污染防治措施评述 3297.6 环境风险防范措施3307.7 环境风险应急预案3397.8 “三同时”验收一览表 3568 .环境影响经济损益分析3608.1 工程投资及经济效益分析 3608.2 环境影响损益分析3608.3 环境经济损益分析3619 .环境管理与监测计划3629

4、.1 环境管理要求 3629.2 污染物排放清单3679.3 环境监测计划37510 .环境影响评价结论37810.1 项目概况 37810.2 环境质量现状 37910.3 污染物排放情况 38010.4 主要环境影响 38010.5 公众意见采纳情况38210.6 环境保护措施 38210.7 环境影响经济损益分析38310.8 环境管理与监测计划38310.9 总结论383附件1.投资备案证及登记信息表附件2.关于中环领先半导体材料有限公司集成电路用大直径半导体硅片项目的认定意见附件3.现有项目环评批复及验收附件4.环境质量现状监测报告附件5.现场踏勘照片附件6.制氢站、制氮站情况说明附

5、件7.建设项目环评审批基础信息表附件8.报批申请附件9.委托书附件10.确认声明附件IL公开说明附件12.总量申请表L概述Ll项目由来中环领先半导体材料有限公司（以下简称中环领先）位于国家级经济开发区宜兴经济技 术开发区，注册时间2017年12月14日，现有生产车间主要包含：切磨抛厂房1#、切磨抛厂 房2#,具备年产900万片8英寸抛光片、年产180万片12英寸抛光片的生产能力。现有项目 已建设完成，并通过竣工环保验收，生产装备和配套环境保护设施均载入了中环领先半导体材 料有限公司排污许可证（证书编号：91320282MA1UQ5XR2L001V） o硅片是集成电路最主要的原材料，占到集成电路

6、原材料成本的32%,是单一用量最大的上 游原材料。随着5G、物联网及自动驾驶等的发展应用，对材料及器件品质的要求越来越高， 从20Omm升级至30Omm已成产业界大势所趋。但时至今日，12英寸硅片正片基本100%靠进 口，大尺寸的抛光片及外延片实际已成为制约我国社会经济发展“卡脖子”的关键技术。止匕外， 从发展现状看，12英寸硅片已无外延代工厂，所有国内外硅材料供应商均直接提供抛光片+外 延的模式，半导体企业建立抛光片+外延片一体化模式已是大势所趋。中环领先在对大尺寸抛 光片进行产业布局后，外延片项目的启动也势在必行。在此背景下，中环领先半导体材料有限 公司拟投资541052万元扩建集成电路用

7、大直径半导体硅片项目，年产8英寸外延片264万片、 12英寸抛光片240万片、12英寸外延片180万片。目前本项目已取得江苏省投资项目备案 证（宜兴开发区2022133号）（附件Do根据江苏省太湖流域战略性新兴产业类别目录（2018年本）及宜兴市发展和改革委员 会出具的关于中环领先半导体材料有限公司集成电路用大直径半导体硅片项目的认定意见 （附件2）,本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目。根据中华人民共和国环境保护法中华人民共和国环境影响评价法建设项目环境保 护管理条例等文件的规定，建设项目应当在开工建设前进行环境影响评价。为此，中环领先 半导体材料有限公司委托江苏环保产业技术研究院股份

8、公司对该项目进行环境影响评价工作。 1.2项目特点本项目为半导体硅片项目，位于国家级经济开发区-宜兴经济技术开发区，主要有以下特 点：(1)本项目为扩建项目，行业类别为电子专用材料制造【C39851O根据建设项目环境 影响评价分类管理名录(2021年版)属于三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业中的 81电子元件及电子专用材料制造。(2)根据江苏省太湖流域战略性新兴产业类别目录(2018年本)及宜兴市发展和改革 委员会出具的关于中环领先半导体材料有限公司集成电路用大直径半导体硅片项目的认定意 见，本项目属于“四、新材料产业-42.硅单晶片及外延层”,因此本项目属于江苏省太湖流域 战略性新兴产

9、业项目。(3)本项目废气污染源主要制氢站转化炉烟气、有机废气、酸性废气、碱性废气、硅烷 废气、外延尾气等。制氢站转换炉采用超低氮燃烧器，硅烷废气经硅烷尾气处理器+酸喷淋处 理，外延尾气密闭收集通过外延尾气处理器+酸喷淋处理，有机废气、酸性废气经碱喷淋处理， 碱性废气经酸喷淋处理，处理后满足相应排放标准要求，对环境影响较小。(4)本项目废水污染源包括工艺废水(含砂废水、含酸废水、含碱废水、含氟废水、含 氨废水、有机废水、漂洗水)、制氢站汽水分离器排污水、纯水系统废水、废气洗涤塔废水、 地面冲洗水、初期雨水、生活污水等。废水清污分流、一水多用、分质处理，漂洗废水回用于 纯水制备，含砂废水经处理后回

10、用于酸碱喷淋、循环冷却塔等工序，其他废水经处理后达标接 管，对环境影响较小。(5)本项目位于太湖流域二级保护区，项目生产废水新增氮磷排放，新增总量在宜兴市 实施1.1倍减量替代，满足江苏省太湖水污染防治条例要求。(6)噪声源主要为设备噪声，生产过程中尽量选用低噪声设备，对一些噪声值较高的设 备还采取相应控制措施，对环境影响较小。(7)生产过程中产生的固体废物主要为硅泥、废胶、废滤芯、废抛光垫、废设备配件、 不合格硅片、废硅片包装、化验室废酸液、化验室含酸废水、废加氢催化剂、废瓷球、废脱硫 催化剂、废转化催化剂、废变换催化剂、废PSA吸附剂、废包装桶、废水站污泥、废离子交换 树脂、废反渗透膜、废

11、机油、废抹布、废手套等沾染化学品废物和生活垃圾等。固体废弃物全 部委外妥善处置，不会产生二次污染。1.3 工作过程江苏环保产业技术研究院股份公司接受建设单位委托后，在项目所在地开展了现场踏勘、 调研，向建设单位收集了项目所采用的工艺技术资料及污染防治措施技术参数等。对照国家和 地方有关环境保护法律法规、标准、政策、规范及规划，分析了开展环评的必要性，进而核实 了项目的废气、废水、固体废物等污染物的产生和排放情况，以及各项环保治理措施的可达性。 在此基础上，编制了该项目的环境影响报告书，为项目建设提供环保技术支持，为环保主管部 门提供审批依据。根据建设项目环境影响评价技术导则总纲(HJ2. 1-

12、2016)等相关技术规范的要求，本 次环境影响评价的工作过程及程序见图1.3-1。依据相关规定确定环境影响评价文件类型1研究相关技术文件和其他有关文件第一阶段2进行初步工程分析3开展初步的环境现状调查 一1环境影响识别和评价因子笳选2明确评价重点和环境保护目标3确定工作等级、评价范闱和评价标准制定工作方案第二阶段环境现状调查监测与评价建设项目工程分析1各环境要素环境影响预测与评价2各专题环境影响分析与评价I提出环境保护措施，进行技术经济论证第三阶段2给出污染物排放清单3给出建设项目环境影响评价结论编制环境影响报告书（表）图1.31建设项目环境影响评价工作程序图1.4 分析判定相关情况1.4.1

13、 政策相符性1.4.L1与相关产业政策相符性对照鼓励外商投资产业目录（2022年版），本项目属于“（二十二）计算机、通信和其 他电子设备制造业332.电子专用材料开发、制造（光纤预制棒开发与制造除外）”,本项目为 鼓励外商投资产业。对照外商投资准入特别管理措施（负面清单）（2021年版）,本项目符合管理要求。对照产业结构调整指导目录（2019年本），本项目属于鼓励类中“二十八、信息产业 42、半导体照明衬底、外延、芯片、封装及材料（含高效散热覆铜板、导热胶、导热硅胶片） 等“，为国家鼓励类项目。对照江苏省太湖流域战略性新兴产业类别目录（2018年本），本项目属于“四、新材料 产业-42.硅单晶

14、片及外延层”，属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目。根据无锡市内禁止投资项目目录（2015年本）（锡政办发2015 182号），本项目不属于 其禁止投资项目。对照宜兴市产业投资指导目录（2018年本）（宜发改产业201812号），本项目属于鼓 励类中“二十七、信息产业22、半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料”，为 宜兴市鼓励发展的项目。本项目配套建设制氢站，符合关于加强全省化工园区化工集中区外化工生产企业规范化 管理的通知（苏化治20214号）中“（十支持船舶制造、钢铁、电子信息等行业龙头企业在 厂区范围内配套建设自身生产所需工业气体生产项目。”要求。综上，本项目属于江苏省太湖

15、流域战略性新兴产业项目，不属于各产业政策中限制类或淘 汰类项目，符合国家及地方相关产业政策要求。1.4.1.2相关环保政策相符性（1）与太湖水污染防治相关条例相符性根据太湖流域管理条例（国务院令第604号）、江苏省太湖水污染防治条例（2018年 5月1日施行）、省政府办公厅关于印发江苏省太湖流域建设项目重点水污染物排放总量指标 减量替代管理暂行办法的通知（苏政办发201844号），详细对照见表1.4-1。表1.41本项目与太湖流域相关政策、文件相符性一览表本项目情况相符性文件要求太湖流域管理条例（国务院令第604号）第二十八条：禁止在太湖流域设置不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的造纸、制

16、革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等排放水污染物的生产项目，现有的生产项目不能实现达标排放的，应当依法关闭。本项目为电子专用材料制造项目，不属于造纸、制 革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等禁止 建设项目之列。本项目不在太湖岸线内和岸线周边 5000米范围内。本项目废水接管宜兴市工业污水处 理厂集中处理。因此，本项目符合太湖流域管理条例中关于太 湖流域的环境保护要求。在太湖流域新设企业应当符合国家规定的清洁生产要求，现有的企业尚未达到消洁生产要求的，应当按照清洁生产规划要求进行技术改造，两省一市人民政府应当加强监督检查。第二十九条：符合新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自河口 1

17、万米上溯至5万米河道岸线内及其岸线 两侧各IoOo米范围内，禁止下列行为：（一）新建、扩建化工、医药生产项目；（二）新 建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口；（三）扩大水产养殖规模。第三十条：太湖岸线内和岸线周边5000米范围内，淀山湖赢内和岸线周边2000米范围内，太浦河、新孟河、望虞河岸线内和岸线两侧各I（X）O米范围内，其他主要入太湖河道自河口上溯至1万米河道岸线内及其岸线两侧各IOoO米范围内，禁止下列行为：（一）设置剧毒物质、危险化学品的贮存、输送设施和废物回收场、垃圾场；（二）设置水上餐饮经营设施；（三）新建、扩建高尔夫球场；（四）新建、扩建畜禽养殖场；（五）新建、扩建向水体

18、排放污染物的建设项目；（六）本条例第二十九条规定的行为。已经设置前款第一项、第二项规定设施的，当地县级人民政府应当责令拆除或者关闭。江苏省太湖水污染防治条例（2021年修订）第四十三条：“太湖流域一、二、三级保护区禁止下列行为：（一）新建、改建、扩建化学制 浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，城镇 污水集中处理等环境基础设施项目和第四十六条规定的情形除外”第四十六条：“太湖流域二、三级保护区内，在工业集聚区新建、改建、扩建排放含磷、氮等 污染物的战略性新兴产业项目和改建印染项目，以及排放含磷、氮等污染物的现有企业在不增 加产能的前提下实施提升环保标准的

19、技术改造项目，应当符合国家产业政策和水环境综合治理 要求，在实现国家和省减排目标的基础上，实施区域磷、氮等重点水污染物年排放总量减量替 代。其中，战略性新兴产业新建、扩建项目新增的磷、氮等重点水污染物排放总量应当从本区本项目情况本项目为电子专用材料制造项目，不属于制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀等项目。本项目位于太湖流域二级保护区，根据关于印发 江苏省太湖流域战略性新兴产业类别目录（2018 年本）的通知：“在实现国家和省减排目标的基 础上，按照区域磷、氮等重点水污染物年排放总量 减量替代的要求，可在太湖流域二、三级保护区的 工业集聚区内新建、改建、扩建目录中确定的 战略性新兴产业具体类

20、别项目“，本项目属于战略相符性符合文件要求本项目情况相符性域通过产业置换、淘汰、关闭等方式获得的指标中取得，且按照不低于该项目新增年排放总量 的Ll倍实施减量替代”性新兴产业目录中新材料产业类别：8英寸/12英寸 集成电路硅片、硅单晶片及外延层等新一代电 子信息材料开发与产业化，本项目的氮磷指标从宜 兴市范围内通过产业置换、淘汰、关闭等方式获得 的指标中取得，且不低于本项目新增年排放总量的 1.1倍实施减量替代，总量平衡方案见附件12。符合太湖水污染防治相关条例的总量替代要求。因此，本项目的建设符合太湖水污染防治的相关要 求。省政府办公厅关于印发江苏省太湖流域建设项目重点水污染物排放总量指标减

21、量替代管理 暂行办法的通知（苏政办发201844号）本项目情况相符性第十二条战略性新兴产业新建、扩建项目新增的重点水污染物排放总量应当从减量替代指标中 取得，且按照不低于该项目新增年排放总量的1.1倍实施减量替代。本项目的氮磷指标从宜兴市范围内通过产业置换、 淘汰、关闭等方式获得的指标中取得，且不低于本 项目新增年排放总量的Ll倍实施减量替代，总量 平衡方案见附件12。符合（2）与挥发性有机物防治要求相符性根据江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南江苏省挥发性有机物污染防治管理办法重点行业挥发性有机物综合治理方案环大气（2019） 53号，本项目符合相关挥发性有机物防治要求，相关详细对照见表1

22、.4-2o表L42本项目与挥发性有机物防治要求相符性分析文件要求本项目情况相符性江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南（一）所有产生有机废气污染的企业,应优先采用环保型原辅料、生产工 艺和装备,对相应生产单元或设施进行密闭,从源头控制VOCs的产生， 减少废气污染物排放。本项目产生的有机废气主要为粘棒、线切和磨片过程，涉及挥发性有机 原料的上料设施、生产设施均为密闭操作。相符（二）鼓励对排放的VoCS进行回收利用，并优先在生产系统内回用。 对浓度、性状差异较大的废气应分类收集，并采用适宜的方式进行有效 处理，确保VOCS总去除率满足管理要求，其中有机化工、医药化工、 橡胶和塑料制品（有溶剂浸胶

23、工艺）、溶剂型涂料表面涂装、包装印刷业本项目有机废气污染物主要有丙二醇、酒精系溶剂等，水溶性较好，采 用碱液喷淋处理。本项目有机废气产生速率为034kgh,低于2kgh,本 项目采用碱液喷淋协同处理有机废气，处理效率约50%,处理效率符合相符文件要求本项目情况相符性的VOCS总收集、净化处理率均不低于90%,其他行业原则上不低于 75%。废气处理的工艺路线应根据废气产生量、污染物组分和性质、温 度、压力等因素，综合分析后合理选择，具体要求如下：1、对于5000PPm以上的高浓度VoCS废气，优先采用冷凝、吸附同收 等技术对废气中的VOCS回收利用，并辅以其他治理技术实现达标排 放。2、对于IO

24、oOPPm 50(X)ppm的中等浓度VoCS废气，具备同收价值的宜 采用吸附技术回收有机溶剂，不具备回收价值的可采用催化燃烧、RTO 炉高温焚烧等技术净化后达标排放。当采用热力焚烧技术进行净化时， 宜对燃烧后的热量回收利用。3、对于I(XX)PPm以下的低浓度VOCS废气，有回收价值时宜采用吸附 技术回收处理，无回收价值时优先采用吸附浓缩一高温燃烧、微生物处 理、填料塔吸收等技术净化处理后达标排放。4、含恶臭类的气体可采用微生物净化技术、低温等离子技术、吸附或 吸收技术、热力焚烧技术等净化后达标排放，同时不对周边敏感保护目 标产生影响。5、对含尘、含气溶胶、高湿废气，在采用活性炭吸附、催化燃

25、烧、 RTO焚烧、低温等离子等工艺处理前应先采用高效除尘、除雾等装置进 行预处理。6、对于高温焚烧过程中产生的含硫、氮、氯等的无机废气，以及吸 附、吸收、冷凝、生物等治理工艺过程中所产生的含有机物的废水，应 处理后达标排放。废吸附剂应按照相关管理要求规范处置，防范二次污 染。重点行业挥发性有机物综合治理方案环大气(2019) 53号控制要 求。酸碱喷淋废水经厂区现有污水处理站处理后达标排放。江苏省挥发性有机物污染防治管理办法本项目情况相符性排放挥发性有机物的生产经营者应当履行防治挥发性有机物污染的义 务，根据国家和省相关标准以及防治技术指南，采用挥发性有机物污染 控制技术，规范操作规程，组织生

26、产经营管理，确保挥发性有机物的排 放符合相应的排放标准。本项目产生的有机废气主要为粘棒、线切和磨片过程，涉及挥发性有机 原料的上料设施、生产设施均为密闭操作。本项目有机废气污染物主要有丙二醇、酒精系溶剂等，水溶性较好，采 用碱液喷淋处理。酸碱喷淋废水经厂区现有污水处理站处理后达标排 放。废气经处理后满足排放标准。相符产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者密闭设备中 进行。生产场所、生产设备应当按照环境保护和安全生产等要求设计、本项目产生的有机废气主要为粘棒、线切和磨片过程，涉及挥发性有机 原料的上料设施、生产设施均为密闭操作。相符文件要求本项目情况相符性安装和有效运行挥发性有机物

27、回收或者净化设施；固体废物、废水、废 气处理系统产生的废气应当收集和处理；含有挥发性有机物的物料应当 密闭储存、运输、装卸，禁止敞口和露天放置。无法在密闭空间进行的 生产经营活动应当采取有效措施，减少挥发性有机物排放量。本项目有机废气污染物主要有丙二醇、酒精系溶剂等，水溶性较好，采 用碱液喷淋处理。酸碱喷淋废水经厂区现有污水处理站处理后达标排 放。废气经处理后满足排放标准。胶黏剂、切削液均采用桶装储存，在储存、运输、装卸过程均密闭，禁 止敞口和露天放置。重点行业挥发性有机物综合治理方案环大气（2019） 53号本项目情况相符性（一）大力推进源头替代。通过使用水性、粉末、高固体分、无溶剂、 辐射

28、固化等低VoCS含量的涂料，水性、辐射固化、植物基等低VOCs 含量的油墨，水基、热熔、无溶剂、辐射固化、改性、生物降解等低 VoCS含量的胶粘剂，以及低VoCS含量、低反应活性的清洗剂等，替 代溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等，从源头减少VoCS产生。 加强政策引导。企业采用符合国家有关低VoCS含量产品规定的涂料、 油墨、胶粘剂等，排放浓度稳定达标且排放速率、排放绩效等满足相关 规定的，相应生产工序可不要求建设末端治理设施。使用的原辅材料VOCs含量（质量比）低于10%的工序，可不要求采取无组织排放收集 措施。（二）全面加强无组织排放控制。重点对含VOCS物料（包括含 VOCS原辅材料、

29、含VoCS产品、含VOCS废料以及有机聚合物材料 等）储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺 过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、废 气有效收集等措施，削减VoCS无组织排放。推进使用先进生产工艺。通过采用全密闭、连续化、自动化等生产 技术，以及高效工艺与设备等，减少工艺过程无组织排放。挥发性有机 液体装载优先采用底部装载方式。提高废气收集率。遵循“应收尽收、分质收集”的原则，科学设计 废气收集系统，将无组织排放转变为有组织排放进行控制。采用全密闭 集气罩或密闭空间的，除行业有特殊要求外，应保持微负压状态，并根 据相关规范合理设置通风量。采用局部集气

30、罩的，距集气罩开口面最远 处的VOCS无组织排放位置，控制风速应不低于0.3米/秒，有行业要求 的按相关规定执行。本项目使用的胶黏剂符合胶粘剂挥发性有机化合物限量（GB 33372- 2020）o本项目产生的有机废气主要为粘棒、线切和磨片过程，涉及挥发性有机 原料的上料设施、生产设施均为密闭操作，不涉及集气罩收集废气。本项目有机废气污染物为大风量、低浓度，主要成分为丙二醇、酒精系 溶剂等，水溶性较好，采用碱液喷淋处理。废气经处理后满足排放标 准。本项目有机废气产生速率为034kgh,低于2kgh,本项目采用碱液喷淋 协同处理有机废气，处理效率约50%,处理效率符合控制要求符合文件要求本项目情况

31、相符性加强设备与管线组件泄漏控制。企业中载有气态、液态VOCS物料 的设备与管线组件，密封点数量大于等于2000个的，应按要求开展LDAR工作。石化企业按行业排放标准规定执行。（三）推进建设适宜高效的治污设施。企业新建治污设施或对现有治污 设施实施改造，应依据排放废气的浓度、组分、风量，温度、湿度、压 力，以及生产工况等，合理选择治理技术。鼓励企业采用多种技术的组 合工艺，提高VOCS治理效率。低浓度、大风量废气，宜采用沸石转轮 吸附、活性炭吸附、减风增浓等浓缩技术，提高VOCS浓度后净化处 理；高浓度废气，优先进行溶剂回收，难以回收的，宜采用高温焚烧、 催化燃烧等技术。油气（溶剂）回收宜采用

32、冷凝+吸附、吸附+吸收、膜 分离+吸附等技术。低温等离子、光催化、光氧化技术主要适用于恶臭 异味等治理；生物法主要适用于低浓度VoCS废气治理和恶臭异味治理。非水溶性的VOCS废气禁止采用水或水溶液喷淋吸收处理。采用一 次性活性炭吸附技术的，应定期更换活性炭，废旧活性炭应再生或处理 处置。有条件的工业园区和产业集群等，推广集中喷涂、溶剂集中回收、活性炭集中再生等，加强资源共享，提高VOCS治理效率。实行重点排放源排放浓度与去除效率双重控制。车间或生产设施收集排 放的废气，VOCS初始排放速率大于等于3千克/小时、重点区域大于等 于2千克/小时的，应加大控制力度，除确保排放浓度稳定达标外，还应

33、实行去除效率控制，去除效率不低于80%：采用的原辅材料符合国家有 关低VoCS含量产品规定的除外，有行业排放标准的按其相关规定执行。（3）与长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）江苏省实施细则相符性分析本项目与长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）江苏省实施细则相符性分析见下表，根据表1.4-3,本项目建设符合 长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）江苏省实施细则。表1.43与长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）江苏省实施细则相符性分析序号要求本项目情况相符性I10.禁止在太湖流域一、二、三级保护区内开展 江苏省太湖水污染防治条例禁止的投资建设 io本

34、项目位于太湖流域二级保护区，符合江苏省太湖水污染防治条例要求符合218.禁止新建、扩建国家产业结构调整指导目 录江苏省产业结构调整限制、淘汰和禁止目 录明确的限制类、淘汰类、禁止类项目，法律 法规和相关政策明令禁止的落后产能项目，以及 明令淘汰的安全生产落后工艺及装备项目。本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于各产业政策中限制类或淘 汰类项目，符合国家及地方相关产业政策要求。符合319.禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严 重过剩产能行业的项目。禁止新建、扩建不符合 要求的高耗能高排放项目。本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于国家产能置换要求的严重 过剩产能行业的

35、项目。本项目不属于高耗能高排放项目。符合本项目与长江经济带发展负面清单指南宜兴市实施细则（试行）相符性分析见下表，根据下表，本项目建设符合长江经济带发展负 面清单指南宜兴市实施细则（试行）。表1.44与长江经济带发展负面清单指南宜兴市实施细则（试行）相符性分析序号要求本项目情况相符性1三、区域活动（六）禁止在太湖流域一、二、三级保护区内开 展江苏省太湖水污染防治条例禁止的投资建 设活动（江苏省太湖流域战略性新兴产业类别 目录（2018年本）明确的要求除外）本项目位于太湖流域二级保护区，符合江苏省太湖水污染防治条例要求符合2四、产业发展（五）禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求 的严重过剩产能行

36、业的项目本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于产能过剩行业符合3（六）禁止新建、扩建不符合江苏省林牧渔 业、工业、服务业和生活用水定额（2019年修 订）的项目。江苏省林牧渔业、工业、服务业和生活用水定额（2019年修订）未对本项目所 属行业设定用水定额符合序号要求本项目情况相符性4（七）禁止新建、扩建国家产业结构调整指导 目录（2019年本）外商投资准入特别管理措 施（负面清单）（2020年版）江苏省化工产业结构调整限制、淘汰和禁止目录（2020年 本）等上级政策中明确的限制类、淘汰类、禁 止类项目，法律法规和相关政策明令禁止的落后 产能项目以及明令淘汰的安全生产落后工艺及装 备

37、项目。本项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业项目，不属于各产业政策中限制类或淘 汰类项目，符合国家及地方相关产业政策要求。符合5五、其他（二）省级以上园区入园项目原则上必须符合园 区产业定位；工业园区或集中区外新建、改建、 扩建工业项目必须报市级项目审批部门论证。本项目位于宜兴经济技术开发区，项目类别属于电子专用材料制造中半导体材料制 造，符合产业定位中的主导产业。符合1.4.2 规划相符性1.4.2.1 与宜兴市城市总体规划（2017-2035年）的相符性本项目位于宜兴经济技术开发区，处于宜兴市规划的经开区，属于北部城镇产业发 展区。本项目行业类别为电子专用材料制造，在现有厂区内实施，因此项

38、目建设符合宜 兴市城市总体规划（20172035年）的要求。L4.2.2与宜兴经济技术开发区发展规划（2016-2030年）宜兴经济技术开发区发 展规划环境影响报告书及其审查意见的相符性宜兴经济技术开发区规划总面积为27.1km2,规划范围为：东到东沆大道和芜申运 河，西至新长铁路和锡宜高速西侧行政边界，北临湛渎港，南为芜申运河和紫竹路。宜 兴经济技术开发区发展规划环境影响报告书于2019年通过生态环境部审批（环审 201922号）。根据规划，开发区产业定位为以新材料、新能源、光电材料和高端动力 机械和半导体材料产业等为主导产业，积极发展军民融合产业、物流运输和市场综合服 务业等形成产业集群，

39、加快纺织、机械等传统产业的转型发展，提升园区的市场综合竞 争力。同时加强园区监督管理，提升产品质量，以适应市场需求，力求把经济开发区打 造成具有国际竞争力的综合性工业园区。宜兴经济技术开发区发展规划环境影响报告书的审查意见（环审201922号） 明确：（四）推动产业绿色转型升级。落实长三角地区战略环境评价工作成果，按照长 三角地区分区环境管控要求，加强与区域“三线一单”衔接。大力推进技术研发型、创新 型、高技术产业发展，全面提升产业的技术水平和开发区的绿色循环化水平。（五）严 格入区项目的生态环境准入。引进项目的生产工艺、设备，以及单位产品能耗、物耗、 污染物排放和资源利用等均需达到同行业国际

40、先进水平。符合性分析：本项目位于企业现有厂区，占地为规划的工业用地，项目行业类别为 电子专用材料制作，符合宜兴经济技术开发区发展规划（20162030年）。本项目属 于电子专用材料制造中半导体材料制造，属于产业定位中的主导产业。本项目采用的工 艺为最先进的工艺，产生的污染物均治理后达标排放，符合清洁生产的要求。本项目单 位产品能耗、物耗、污染物排放和资源利用等均达到同行业国际先进水平。符合宜兴 经济技术开发区发展规划环境影响报告书的审查意见(环审201922号)要求。因此，本项目符合宜兴经济技术开发区发展规划(201&2030年)宜兴经济技 术开发区发展规划环境影响报告书及其审查意见。1.4.

41、3 “三线一单”相符性(1)生态保护红线对照江苏省生态空间管控区域规划及江苏省国家级生态保护红线规划，本 项目不涉及生态保护红线区域，项目的建设与江苏省生态空间管控区域规划及江 苏省国家级生态保护红线规划不冲突。(2)环境质量底线大气环境根据2021年度宜兴市环境状况公报，2021年，宜兴城区二氧化硫浓度年均值为 11微克/立方米；二氧化氮浓度年均值为32微克/立方米；可吸入颗粒物(PMlo)浓度 年均值为50微克/立方米，细颗粒物(PM2.5)浓度年均值为28.6微克/立方米，一氧化 碳(Co)浓度(以一氧化碳第95百分位浓度计)值为0.838毫克/立方米，臭氧(03) 8小时浓度(以臭氧日

42、最大八小时均值第90百分位浓度计)为104微克/立方米。2021 年两站有效监测天数为365天，其中优良天数为311天，空气质量指数(AQI)达标率 为 85.2%o补充监测：氟化物小时值、日均值满足环境空气质量标准(GB3095-2012)二级 标准要求；NH3、H2S和挥发性有机物小时值均满足环境影响评价技术导则大气环境 (HJ2.2-20附录D其他污染物空气质量浓度参考限值；He1、Cb和硫酸雾小时值、 日均值均满足环境影响评价技术导则大气环境(HJ2.2-2018)附录D其他污染物空 气质量浓度参考限值。地表水根据2021年度宜兴市环境状况公报，2021年我市11个国考断面中有10个断

43、 面达到2021年度水质目标，达标率为90.9%； 31个省考断面中有30个断面达到2021中环领先半导体材料有限公司集成电路用大直径半导体硅片项目环境影响报告书（全本公示稿）年度水质目标，达标率为96.8%。2021年4个市控河流断面水质均为In类水。同时引用宜兴市工业污水处理厂建设项目对周边地表水的检测结果，烧香河各监测断面的水质 监测因子均符合地表水环境质量标准（GB3838-2002）中的HI类水质标准要求。声环境声环境现状监测结果表明，本项目厂界昼、夜间等效连续A声级满足声环境质 量标准（GB3096-2008）中3类标准要求。土壤环境土壤环境质量现状调查结果表明：T1T3点位各检测

44、因子对应的检出结果全部低于 土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB366002018）中规定的第 二类用地筛选值标准。厂内土壤环境质量现状较好。项目废气、废水、噪声均对周边环境影响较小，固废能得到合理处置，不会突破项 目所在地的环境质量底线。因此项目的建设符合环境质量底线要求。（3）资源利用相符性土地资源：本项目不新增用地，在现有厂区内实施。水资源：本项目用水依托开发区供水管网。能源：本项目供电、供热、供气由开发区统一供给。本项目用水、用电、用热、用气均在园区供应能力范围内，不突破区域资源上线。 因此，本项目符合区域资源上线要求。（4）环境准入负面清单本项目行业类别为电子专用材

45、料制造C3985,经对照国家产业结构调整指导目 录（2019年本）无锡市内禁止投资项目目录（2015年本）（锡政办发2015182号）、 宜兴市产业投资指导目录（2018年本）（宜发改产业201812号）等文件中相关条 文，本项目不属于目录中限制类及淘汰类项目，符合产业政策要求。根据表144,本项目建设符合长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年 版）江苏省实施细则要求。根据表1.4-5,本项目位于宜兴经济技术开发区，符合宜兴经济技术开发区发展 规划环境影响报告书生态环境准入清单和规划环评审查意见要求。表1.45生态环境准入清单（宜兴经济技术开发区）控制类 别准入内容本项目情况相符性国地业

46、要 合及产策求 符家方政开发区入区项目应符合产业结构调整指导目录（2011 年本）（2013年修订）、市场准入负面清单草案（试 点版）（发改经体（2016）442号）、国家鼓励的有毒 有害原料（产品）替代品目录（2012年版）、环境 保护综合名录（2015年版）、江苏省工业和信息产 业结构调整指导目录（苏政办发20139号）、江苏省工 业和信息产业结构调整限制、淘汰目录和能耗限额（2015年）、江苏省限制用地项目目录（2013年 本）、江苏省禁止用地项目目录（2013年本）、无锡市制造业转型发展指导目录（2012年本）和 宜兴市产业投资指导目录（2018年本）的要求。本项目行业类别为 电子专用材料制 造，符合规划环评 规定的国家及地方 产业政策要求。符合符合规 划的产 业类别进区企业应符合规划产业发展方向。产业定位：以新材料、新能源、光电材料和高端动力机械 和半导体材料产业等为主导产业，积极发展军民融合产 业、物流运输和市场