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1、1.绪论1.1 振动测量的概念物体围绕平衡位置作往更运动称为振功。从做功对象来分，有机械振动（例如机床电机、泵风机等远行时的振动）:上木结构振动（房屋、桥梁等的振动）：运输工具振动汽车、飞机等的振动）以及武器、爆炸引起的冲击振动等。从振动的嫉率范围来分.合高频振动、低频振动和超低领振动等：从振动信号的统计特征来看，可聘振动分为周期振动、非周期振动以及随机振动等。期振功是指经过相同的时间间隔，其振动特征量重更出现的振动.它包括简谐振动和困难周期振动。困难周期振动是由一些不同频率的筒谐J1.t量合成的振动。非周期振动的时域函数是一个哀减曲数，冲击振动是最常见的非周期振功。随机振动是种非确定性振动，
2、事先允法确定共振幅,频率从相位的瞬时值，但有肯定的统计规律性.振动测量主要是探讨上述各种振动的特征、变更规律以及分析产生振动的缘由，从而找到解决问题的方法。物体标动一次所需的时间称为周期，用丁表示，单位是S。每秒振动的次数称频率，用f表小，单位为Hz、频率是分析振动的最重要内容之一。振动物体偏离平衡位置的最大距离称为振幅，用X表示，单位为MU振动的速度用V表示，单位为m/s：加速度用a表水，单位m/s）12振动信号分类确定性振动可.分为周期性振动和非周期性振动。周期性振动包括简谐振动和困难周期振动。非周期性振动包括准周期振动和瞬态振动。准周期振动由一些不同频率的简谐振动合成，在这些不同频率的简
3、谐重量中，总会有一个重量与另一个重量的频率之比值为无理数，因而是非周期振动。随机振动是种非确定性振动，它只听从肯定的统计规律性。可分为平稳随机振动和非平稳随机振动。平稳随机振动又包括各态历经的平稳随机振动和非各态历经的平稔随机振动一般来说，仪器设备的振动信号中既包含有确定性的振动，又包含有随机振动，但对于一个线性振动系统来说，振动信号可用谱分析技术化作很多谐振动的叠加。因此简谐振动是最基本也是最简洁的振动.1.3 压电式传感器的结构原理当传感器与被测振动加速度的机件索固在一起后，传感器受机械运动的振动加速度作用，压电晶片受到质珏块惯件引起的压力。其方向与振动加速度方向相反，大小类F=ma确定。
4、惯性引起的压力作用在压电晶片上产生电荷。电荷由用出电极输出.由此将振动加速度转换成电参fio弹簧是给压电晶片施加预紧力的。预紧力的大小基本不影响输出电荷的大小，若预紧力不够，而加速度又较大时.质量块将宅压电晶片敲碰，预索力也不能太大，否则乂会引起压电晶片的非线性误差、常用的压电式加速度传感器的结构多种多样.这种结构有较尚的固有振动频率,可用于较高频率的测量（几千赫兹至几十千静兹），它是目前应用较多的一种形式.1.4 压电传感器的性能指标压电式加速度传感器屈于自发电型传感器，它的输出为电荷量，以Pc(皮库仑)为单位，IPc=10,;C：而输入量为加速度，单位为ms所以灵敏度以Pc/(ms)为单位
5、，但是在振动测量中，往往用标准重力加速度g(1.g-9.811s*s)作为加速度的堆位，这是检测行业的一种习惯用法。几乎全部测量振动的仪器都用g作为加速度单位，并在仪器的面板上以及说明书中标出。目前很多压电加速度传感微已将电荷放大器做在同一个壳体中，它的输出是电压，所以很多压电加速度传感器的灵敏度单位为帆g,通常为10-1000mV灵敏度并不是越高越好，灵敏度低的传感那可用于动态范同很宽的扳动测量，例如打桩机的冲击振动、汽车的撞击试验、炸弹的贯穿延时引爆等，而灵敏度的压电传感器可用丁测量微弱的振动.例如用于找寻地卜行道的泄漏点(水管漏水处可发出几千赫兹的特别振动)：或测盘桥梁、楼房、桩基的受激
6、振动以反分析精密机床床身的振动以提裔加工精度等。频率范囤大多数压电加速度度传感器的频率范围为0.1HZ-IOKHZ。动态范围常用的测量范困为0.1100,测量冲击振动时应选用100-100OOg:而测珏桥梁、地基等微弱振动往往要选择0.0011Og的裔灵敏度的低频加速度传感器。2.压电式传感器的工作原理2.1压电效应某些电介质在沿肯定方向上受到外力的作用而变形时都会产生极化现象，同时么其表面上产生电荷，当外力去掉后，又揖新回到不带电的状态.这种现象称为压电效应o反之，在电介质的极化方向上施加交变电场或电压、它会产朝气械变形：当去掉外加电场时，电介版变形随之消逝，这种现象称为逆压电效应（电致伸缩
7、效应）例如音乐贺卡中的压电片就是利用逆压电效应而发声的。具有压电效应的物质很多，如自然形成的石英晶体、人工制造的压电陶蓬等,在晶体的弹性限度内，压电材料受力后，其表面产生的电荷Q与所施加的力F成正比即Q=dF式中1一一压电常数.自然界中与压电效应有关的现象很多，例如在敦煌的呜沙丘，当很多游客在沙丘上蹦跳或从鸣沙厅上柠下滑时，可以听到雷呜般的隆隆声：产生这个现象的缘由是多数干燥的沙子（siO2晶体）在近压下表面产个电荷。在某时刻，形成电压串联，产生很高的电压。并通过空气放电而发出声音.2. 2压电材料的分类及特性压电式传感器中的压电元件件材料一般有三类：类是压电晶体（单晶体）：其次类是经过极化处
8、理的压电陶兖（多晶体）：第三类是高分子压电材料。这里我们主要介绍其次类。压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料.它由多数微小的电脑组成这些电畴事实上是分子臼发极化的小区域在无外电场作用时，各个电畴在晶体中杂乱分布,它们的极化效应被相互抵消了，因此原始的在电陶及里中性，不具有压电性质。为使压电陶在具有压电效应，必需在肯定温度卜.做极化处理。极化处理之后，陶龙材料内部存在有很强的剩余极化强度。当用电陶锭受外力作用时，其表面也能产生电荷，所以压电陶瓷也具有压电效应。压电陶瓷制造工艺成熟，通过变更配方或掺杂微量元素可使材料的技术件能有较大变更,以适应各种要求它还具有乩好的工艺性.可以使利地加工成各种须要的形
9、态，在通常状况下，它比石英晶体的比电系数裔得多，而制造成本较低，因此H前冈内外压电元件绝大多数都采纳压电陶究.常用的压电陶资材料主要有以下几种：(1)错钛酸铅系列压电陶瓷(PZD稻钛酸错压电陶克是由钛酸铅和铁酸铅组成的固熔体。它有较高的用电常数d-(200-500)*10-12cn和居里点(500C左右)，是目前常常采纳的一种压电材料。在上述材料小加入微量的果(1.a)、锯(Nb)或睇(Sb)等，可以得到不同性能的PZT材料。PzT足工业中应用较多的压电陶瓷.(2)银镁酸铅压电陶瓷(PMN)钝镁酸铅压电陶瓷具有较高的压电常1.fcd1.1.=(800-900)x1.0T2Cn)和居里点(260
10、C),它能在压力大至70MPa时正常工作.因此可作为高压下的力传墟器.目前还有一些锯酸盐(如锯酸俾)具有很高的居里点，可作为高温压电传感涔。(3)运用Pv-96型压电加速度传感器进行测员，Pv96型实行剪切里结构，它不受四周环境温度的影响，外型为圆柱体，筑量较大。它的灵敏度为100oPC/g,也就是说在1.g(g=9.8ms*s)加速度的作用卜.，传感器能产生一万微库的电荷，内-96型压电传感器的性能如表21：电与灵敏度10000p0g分电容6000p振动微率0.110G外壳就算不争铜表2-1PV96型压电传感器特性3.微振动测试仪电路的详细设计3.1 压电陶瓷传感器的等效电路压电式传感器对被
11、测量的变更是通过其压电元件产生电荷量的大小来反映的，因此它相当于个电荷源。而压电元件电极表面聚集电荷时,它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容fit为式中S极板面枳：Cn一一压电材料相对介电常数；c。一一真空介电常数：3用电元件厚度。当压电刀件受外力作用时，两表面产生等量的正，负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)U为1.=QG。这样,可以把用电元件等效为个电荷源Q和个电容器C1.的等效电路，如图3-1.（八）中的虚线方框：同时也等效为一个电压源u和一个电容沿Cn串联的等效电路，如图3-1.(b)的虚线方框所示。其中Ra为压电元件的漏电阻。（八）电荷等效电监C)电工等
12、我电哥图3-1压电式传感器测试系统等效电路工作时,汽电元件与二次仪表配套运用，必定与测量电路相连接.这就要考虑连接电缆电容C，放大器的输入电阻Ri，和输入电容配图31示出压电式传感器测试系统完整的等效电路。图（八）、(b)的工作原理是相向的。压电式传感器的灵极度有电压灵敏度儿和电荷灵敏度勺两种，它们分别表示用1.位力产生的电压和堆位力产生的电荷。它们之间的关系为k一旦3.2电荷放大器电路电荷放大器是压电传感器的一种专用的前置放大器，事实上是一个具有深度负反馈的高增益运算放大器“它能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，而且输出电压正比与输入电荷，因此电荷放大器同样也起阻抗变换作用，输入阻抗高达
13、Io1.O1012Q,而输出阻抗小于100Q。若放大器的开环增益足够高，则运算放大器的输入端的电位接近“地”电位。由于放大器的输入级采纳场效应晶体管，保证其输入阻抗极高，放大器输入湍几乎没有分流，电荷q只对反馈电容Cf充电，充电电压接近等于放大器的输出电压，即输出电压为V0=-qCf.图32电荷放大器电路3. 3电压放大电路uA776是低功耗可编程运匏放大器，为了降低噪声，可在8脚输入适当的电流Iset=15uA.在低频测量时，随着缴率的降低会增大闪罐噪声，由于采纳的运放uM76的电压噪声在IU八以下，噪声主要由前端的电荷放大涔产生。所以在降低噪声设计中不仅要选择电压噪声小的集成电路而且应有低
14、的输入电压、低的偏压及失调漂移等特性,在电路设计中，反馈电容应尽可能小，因为即使很小的漏电流进人放大器也会产生误差，故输入部分要用聚四氯乙烯绝缘纸进行绝缘。电用放大罂信号从反相端输入，其电路图32所示，可知放大倍数即2：图32电压放大器电路3. 4测量电路测量电路如图3-3所示，图中的模拟测垃电路由两级放大器组成.图33微振动测限仪电路总图AD5441.组成一个电荷放大器，它的输入为电荷，输出为电压，也是一个Q/转换器。它的输出为Yo1.QC1.,传感淞受到Ig加速度的作用,它产生的电压,理论值为VoI=-100OOx10C/300X1.oTF=-33V（事实上，Ig的加速度使运放的输出为饱和
15、值Vs),即放大器D5441.的灵敏度为-33Vg=-33.7mVga1.(1.ga1.=1.980g=IcmZs2)电荷放大涔的低频晌应由反饿电容C1.和反馈电阻RI确定，其截止频率为Co=I/211R1C1=O.053Hz由上式可见,低频时电荷放大器的频率响应仅确定于反馈电路参数Rf和Cf,反馈电阻Rf还有直流反馈功能.因为在电荷放大器中采纳电容负反馈，对直流工作点相当于开路，故零漂较大而产生误差。为了减小零漂，使放大器工作稳定，应并联电阻R1.RB为运放AD5441.的输入爱护电阻，避开D5441.的输入过高而损坏。uM76是构成个反相放大器，其闭环增益为：j+R11F调整电位器RP1.
16、即使RP1.=I8k,可使Af2=148,因此，uA776的输出灵敏度为(-1.48)X(-33.7mVga1.)=50mVga1.也就是说，当振动加速度为1/98Og时，电路能输出50mV的电压.本电路输出电压最大约6Y,因此其最大测量值约为6/48.8=0.1g。若要求测量电路的输出灵敏度更高，应提高uA776的反馈电阻。例如，输出灵敏度为100mVga1.时u776的闭环增益约为3,可适当增大(R4+RJ的值。4.心得体会这次课题设计历时五天，我案到题目,对其做了个大致的了解后，就着手杳找资料。俗话说：“万事开头难”的确如此，但起先时自己的思路不太清楚，漏洞百出，所设计的电路不能够很好地
17、实现所要求的功能。但最终我还是在自己主动查资料、向学习较好的同学请教的基研!上，仔细思索，改进电路，进而得以完成任务。通过本次设计，我相识到细心与细微环节的重要性，同时大大提高了自己搜集资料、排列次序和编写的实力。我想，对资料的充分搜集与理解是本次设计得以有条理地完成的关描因素。相当时京到题目时手足无措的样子，真的是很不怪事。因为.题目上出现的专业术语令我望而却步了。直到要做课程设计时，才发觉自己学到的东西太少了，而要学习的东西太多太多。曾经想多放弃，但放弃意味着什么？人生就是不断的学习，不断的进步，不断的接受新事物才能学到很多有用的学问。倘如放弃，那么以后的人生就是被别人放弃。倘如没有这次毕
18、业设计，那么我将失去人生中最重要的教化：那就是.不能轻言放弃。息之，这次的课程设计为我以后做课程设计积累了阅历，并熬炼了我的自主学习和独立思索，融汇各学科学问的实力，也让我体会到了将来走上工作岗位工作的不简洁，所以我肯定要更加努力地学习理论学问，以及增加我的动手实力，为将来打卜.基础。弁考资料1何道消,张禾传感器与传感器技术.北京：科学出版社.2008.2张琳娜，刘武表传感检测技术及应用.中国计量出版社.1999.3黄贤武传感器实际应用电路设计.电子科技高校出版社.1997.4陈杰，黄讷传感器与检测技术.高等教化出版社.2002.5丁镇声传感器及传感器技术及应用.电子工业出版社.1998.微振动测试仪电路总图
